[实用新型]一种三真空腔曝光夹具有效
| 申请号： | 202021515079.9 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN212623569U | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 郭翔宇 | 申请（专利权）人： | 长沙迈博光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B25B11/00 |
| 代理公司： | 安化县梅山专利事务所 43005 | 代理人： | 潘访华 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市经济技术开发区*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 空腔 曝光 夹具 | ||
1.一种三真空腔曝光夹具，其特征在于：由母板组装件和基片组装件通过重载合页连接，所述母板组装件包括母板底座、卡板座、限位压块、吸附胶块和母板，所述母板底座的内侧依次设有卡板座、限位压块，所述限位压块内侧与所述母板底座之间的空间形成真空腔Ⅰ，所述母板底座上开设有与真空腔Ⅰ相连通的真空口Ⅰ，所述限位压块上开设有凹槽，所述凹槽上垫设吸附胶块，所述吸附胶块上方设有母板；所述基片组装件包括基片底座、卡板座、限位压块、吸附胶块和基片，所述基片底座的内侧依次设有卡板座、限位压块，所述限位压块内侧与所述基片底座之间的空间形成真空腔Ⅱ，所述基片底座上开设有与真空腔Ⅱ相连通的真空口Ⅱ，所述限位压块上开设有凹槽，所述凹槽上垫设有吸附胶块，所述吸附胶块上方设有基片，所述母板与基片在重载合页合上时形成真空腔Ⅲ，所述母板底座上开设有与真空腔Ⅲ相连通的真空口Ⅲ。
2.根据权利要求1所述的一种三真空腔曝光夹具，其特征在于：所述凹槽为4个，4个凹槽均匀分布在所述限位压块上。
3.根据权利要求2所述的一种三真空腔曝光夹具，其特征在于：所述吸附胶块为4个。
4.根据权利要求1所述的一种三真空腔曝光夹具，其特征在于：所述母板底座上设有盖板压块，此盖板压块内侧设有玻璃盖板。
5.根据权利要求1所述的一种三真空腔曝光夹具，其特征在于：所述基片底座上设有盖板压块，此盖板压块内侧设有玻璃盖板。
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