[实用新型]一种三真空腔曝光夹具

说明书

本实用新型公开了一种三真空腔曝光夹具，由母板组装件和基片组装件通过重载合页连接，母板组装件包括母板底座、卡板座、限位压块、吸附胶块和母板，母板底座的内侧依次设有卡板座、限位压块，限位压块内侧与所述母板底座之间的空间形成真空腔Ⅰ，母板底座上开设有与真空腔Ⅰ相连通的真空口Ⅰ，限位压块上开设有凹槽，凹槽上垫设有吸附胶块，所述吸附胶块上方设有母板；基片组装件的结构原理与母板组装件类似，母板与基片在重载合页合上时形成真空腔Ⅲ，母板底座上开设有与真空腔Ⅲ相连通的真空口Ⅲ。本实用新型提供的一种三真空腔曝光夹具，能有效、快速地实现母板和基片的上料、下料和对准。

技术领域

本实用新型涉及一种夹具，尤其是一种三真空腔曝光夹具。

背景技术

目前在曝光夹具领域，还没有一种简单便捷的结构设计，能使母板和基片能实现快速地组装和拆卸。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种三真空腔曝光夹具。

本实用新型的技术方案为：一种三真空腔曝光夹具，由母板组装件和基片组装件通过重载合页连接，所述母板组装件包括母板底座、卡板座、限位压块、吸附胶块和母板，所述母板底座的内侧依次设有卡板座、限位压块，所述限位压块内侧与所述母板底座之间的空间形成真空腔Ⅰ，所述母板底座上开设有与真空腔Ⅰ相连通的真空口Ⅰ，所述限位压块上开设有凹槽，所述凹槽上垫设有吸附胶块，所述吸附胶块上方设有母板；所述基片组装件包括基片底座、卡板座、限位压块、吸附胶块和基片，所述基片底座的内侧依次设有卡板座、限位压块，所述限位压块内侧与所述基片底座之间的空间形成真空腔Ⅱ，所述基片底座上开设有与真空腔Ⅱ相连通的真空口Ⅱ，所述限位压块上开设有凹槽，所述凹槽上垫设有吸附胶块，所述吸附胶块上方设有基片，所述母板与基片在重载合页合上时形成真空腔Ⅲ，所述母板底座上开设有与真空腔Ⅲ相连通的真空口Ⅲ。

优选地，所述凹槽为4个，4个凹槽均匀分布在所述限位压块上。

优选地，所述吸附胶块为4个。

优选地，所述母板底座上设有盖板压块，此盖板压块内侧设有玻璃盖板。

优选地，所述基片底座上设有盖板压块，此盖板压块内侧设有玻璃盖板。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：本实用新型提供的一种三真空腔曝光夹具，通过三个真空腔，能有效、快速地实现母板和基片的组装和拆卸。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图。

图2为本实用新型的原理结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步说明。

如图1至图2所示，一种三真空腔曝光夹具，本曝光夹具由母板组装件和基片组装件通过重载合页15连接。

其中母板组装件包括盖板压块1、玻璃盖板2、母板底座3、卡板座4、限位压块5、吸附胶块16和母板7，此盖板压块1内侧设有玻璃盖板2，此盖板压块1上设有母板底座3。母板底座3的内侧依次设有卡板座4、限位压块5，限位压块5内侧与母板底座3之间的空间形成真空腔Ⅰ6，母板底座3上开设有与真空腔Ⅰ6相连通的真空口Ⅰ14，限位压块5上开设有4个凹槽，4个凹槽在限位压块5四周均匀分布，4个凹槽上均垫设有吸附胶块16，吸附胶块16上方设有母板7。