[实用新型]物理吸附仪

权利要求书

1.物理吸附仪，其特征在于：包括密封式腔体，所述密封式腔体的内部设有平行设置的快速抽空管路和慢速抽空管路，所述快速抽空管路包括第一管路，所述第一管路的一端与受控腔体连通，另一端与第一真空泵连通，所述第一管路上设有控制器通断的第一电磁阀；

所述慢速抽空管路包括第二管路，所述第二管路的一端与受控腔体连通，另一端与第二真空泵连通，所述第二管路上至少设有两个电磁阀且二者间歇式动作。

2.根据权利要求1所述的物理吸附仪，其特征在于：第二管路上的两个电磁阀为第二电磁阀和第三电磁阀，均控制第二管路的通闭，所述第二电磁阀和第三电磁阀内部的死体积和二者之间的第二管路形成缓冲区，所述缓冲区与受控腔体连通后，压力下降控制在每秒700Pa以内。

3.根据权利要求2所述的物理吸附仪，其特征在于：所述第一电磁阀、第二电磁阀和第三电磁阀的响应速率为13-25 ms，所述缓冲区的容量为80-120微升。

4.根据权利要求1所述的物理吸附仪，其特征在于：所述第一管路为内径5mm的金属管，当受控腔体内的压力小于0.5KPa时，所述第一电磁阀打开，连通受控腔体和真空泵进行抽真空，所述第二管路为内径2mm的金属管。

5.根据权利要求1-4任一项所述的物理吸附仪，其特征在于：所述第二管路上还设有控制其通闭的第四电磁阀，所述第四电磁阀设在靠近所述受控腔体一侧，第二电磁阀和第三电磁阀之间的距离小于第三电磁阀和第四电磁阀之间的距离。

6.根据权利要求1-4任一项所述的物理吸附仪，其特征在于：所述密封式腔体为密封式箱式结构，所述密封式腔体的前端下方为观察视窗，上方设置有控制面板，所述密封式腔体的顶面设有散热口，后面设有至少一个散热风扇。

7.根据权利要求6所述的物理吸附仪，其特征在于：所述密封式腔体包括箱体、分隔板、顶板和升降架，所述顶板水平设置在所述箱体内并将箱体分为上下两部分，所述分隔板竖直设置在所述箱体内且将位于所述顶板下方的箱体分为前后两部分，所述顶板、分隔板、观察视窗和箱体形成受控腔体的操作空间，所述受控腔体设在升降架上，所述升降架相对分隔板上下移动设置。

8.根据权利要求7所述的物理吸附仪，其特征在于：所述分隔板的后端固设有升降电机，所述升降架的后端穿过所述分隔板由升降电机驱动，所述升降电机驱动丝母丝杠结构驱动所述升降架上下移动，丝杠的两侧对称设有保证升降架上下移动精度的导向杆。