[实用新型]一种蒸镀设备有效
| 申请号： | 202021523780.5 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN212864945U | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 郑沂;林志斌 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 黄以琳;张忠波 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 设备 | ||
1.一种蒸镀设备，其特征在于：包括蒸镀腔体、蒸镀装置、填料装置以及旋转机构；
所述蒸镀装置、所述填料装置分别设置于所述蒸镀腔体内，所述填料装置设置于所述蒸镀装置的一侧，所述旋转机构与所述填料装置可拆卸连接；
所述蒸镀装置用于蒸镀蒸镀材料；
所述填料装置用于向所述蒸镀装置提供蒸镀材料；
所述旋转机构用于将所述填料装置旋转至所述蒸镀装置上方；
所述填料装置包括填料腔体、感应机构以及出料开关；
所述感应机构设置于所述填料腔体的内壁上，所述出料开关设置于所述填料腔体上；
所述填料腔体用于存放蒸镀材料；
所述感应机构用于感应蒸镀材料的重量变化。
2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀装置包括坩埚以及加热源，所述坩埚设置于所述加热源上，所述加热源用于加热所述坩埚。
3.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于：所述旋转机构包括旋转轴以及支撑杆，所述支撑杆一端与所述旋转轴连接，所述支撑杆另一端与所述填料腔体可拆卸连接。
4.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于：所述填料装置还包括压缩部件，所述压缩部件设置于所述填料腔体内，所述压缩部件用于压缩所述填料腔体内的蒸镀材料。
5.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀设备还包括控制机构，所述控制机构用于控制所述蒸镀设备的运行；
所述感应机构包括弹性元件、电阻应变片、测量电路以及传输电缆；
所述弹性元件与所述电阻应变片连接，所述电阻应变片与所述测量电路电连接，所述测量电路与所述传输电缆电连接，所述传输电缆与所述控制机构电连接。
6.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于：所述填料装置还包括出料口以及伸缩管，所述出料口位于所述出料开关上，所述伸缩管与所述出料口连接。
7.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀设备还包括换料腔体以及控制开关；
所述换料腔体与所述蒸镀腔体连通，所述控制开关设置于所述换料腔体与所述蒸镀腔体的连通处；
所述控制开关用于连通所述换料腔体与所述蒸镀腔体；或
所述控制开关用于隔离所述换料腔体与所述蒸镀腔体。
8.根据权利要求7所述的蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀设备还包括抽真空装置，所述抽真空装置与所述换料腔体连接。
9.根据权利要求7所述的蒸镀设备，其特征在于：所述填料装置有两个以上，两个以上所述填料装置分别设置于所述蒸镀腔体内。
10.根据权利要求9所述的蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀设备还包括两个以上移动机构，两个以上所述移动机构分别设置于所述蒸镀腔体以及所述换料腔体内，两个以上所述移动机构分别对应用于移动两个以上所述填料装置。
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