[实用新型]一种蒸镀设备

说明书

本实用新型涉及一种蒸镀设备，包括蒸镀腔体、蒸镀装置、填料装置以及旋转机构；蒸镀装置、填料装置分别设置于蒸镀腔体内，填料装置设置于蒸镀装置的一侧，旋转机构与填料装置可拆卸连接；蒸镀装置用于蒸镀蒸镀材料；填料装置用于向蒸镀装置提供蒸镀材料；旋转机构用于将填料装置旋转至蒸镀装置上方；填料装置包括填料腔体、感应机构以及出料开关；感应机构设置于填料腔体的内壁上，出料开关设置于填料腔体上；填料腔体用于存放蒸镀材料；感应机构用于感应蒸镀材料的重量变化。蒸镀过程中，可以完全在真空状态下进行加料，使蒸镀设备持续保持在真空状态进行连续蒸镀，避免外界空气中的颗粒进入腔体内，保持了蒸镀腔体内的洁净度，提高产品质量。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀设备。

背景技术

OLED(Organic Light Emitting Display),即有机发光显示屏，在MP3 屏幕应用领域属于新崛起的种类，被誉为“梦幻显示屏”。它无需背光灯，而是“主动发光“它抛弃了传统LCD的缺点，每个像素都可自行发光，不管在什么角度什么光线下都可以比传统LCD显示更加清晰的画面，环境越黑屏幕越亮，犹如夜间的荧彩精灵。

蒸镀就是其中很关键的制程工艺，其工艺为在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸气，然后凝结在玻璃基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。

在现有技术中，蒸镀设备因需要定期频繁地开腔进行加料，开腔加料过程需一定时间打开腔门，使得外界空气中的颗粒进入腔体内，从而影响腔体内环境的洁净度，污染腔体环境，影响产品质量；且因蒸镀过程中因蒸镀源内的蒸镀材料不足需破真空加料，从而中断镀膜，影响产能。

实用新型内容

为此，需要提供一种蒸镀设备，用于解决在现有技术中，蒸镀设备因需要定期频繁地开腔进行加料，开腔加料过程需一定时间打开腔门，使得外界空气中的颗粒进入腔体内，从而影响腔体内环境的洁净度，污染腔体环境，影响产品质量；且因蒸镀过程中因蒸镀源内的蒸镀材料不足需破真空加料，从而中断镀膜，影响产能等技术问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种蒸镀设备，包括蒸镀腔体、蒸镀装置、填料装置以及旋转机构；

所述蒸镀装置、所述填料装置分别设置于所述蒸镀腔体内，所述填料装置设置于所述蒸镀装置的一侧，所述旋转机构与所述填料装置可拆卸连接；

所述蒸镀装置用于蒸镀蒸镀材料；

所述填料装置用于向所述蒸镀装置提供蒸镀材料；

所述旋转机构用于将所述填料装置旋转至所述蒸镀装置上方；

所述填料装置包括填料腔体、感应机构以及出料开关；

所述感应机构设置于所述填料腔体的内壁上，所述出料开关设置于所述填料腔体上；

所述填料腔体用于存放蒸镀材料；

所述感应机构用于感应蒸镀材料的重量变化。

作为本实用新型的一种优选结构，所述蒸镀装置包括坩埚以及加热源，所述坩埚设置于所述加热源上，所述加热源用于加热所述坩埚。

作为本实用新型的一种优选结构，所述旋转机构包括旋转轴以及支撑杆，所述支撑杆一端与所述旋转轴连接，所述支撑杆另一端与所述填料腔体可拆卸连接。

作为本实用新型的一种优选结构，所述填料装置还包括压缩部件，所述压缩部件设置于所述填料腔体内，所述压缩部件用于压缩所述填料腔体内的蒸镀材料。

作为本实用新型的一种优选结构，所述蒸镀设备还包括控制机构，所述控制机构用于控制所述蒸镀设备的运行；

所述感应机构包括弹性元件、电阻应变片、测量电路以及传输电缆；