[实用新型]一种太阳能电池PECVD镀膜装置有效
| 申请号： | 202021524052.6 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN212894965U | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 黄镇 | 申请（专利权）人： | 中建材浚鑫科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人： | 范登峰 |
| 地址： | 214443 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 pecvd 镀膜 装置 | ||
1.一种太阳能电池PECVD镀膜装置，包括硅片台(1)，其特征在于：所述硅片台(1)包括放置台(11)，所述放置台(11)包括放置台体(111)，所述放置台体(111)上设置有多个硅片槽(112)，所述硅片槽(112)为镂空结构，所述硅片槽(112)中间连接有多个放置台卡块(113)，所述放置台卡块(113)中间设置有圆孔(114)，所述硅片槽(112)一侧设置有硅片置入口(115)，所述放置台体(111)一侧连接有放置台卡孔(116)。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池PECVD镀膜装置，其特征在于：所述硅片台(1)还包括镀膜台(12)，所述放置台(11)贴合镀膜台(12)，所述镀膜台(12)包括镀膜台体(121)，所述镀膜台体(121)也有多处镂空，所述镀膜台体(121)和硅片槽(112)镂空处为配合结构。
3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池PECVD镀膜装置，其特征在于：所述镀膜台体(121)侧面设置有挡板(122)，所述挡板(122)和硅片置入口(115)为配合结构。
4.根据权利要求3所述的一种太阳能电池PECVD镀膜装置，其特征在于：所述镀膜台体(121)内侧设置有镀膜台卡块(123)，所述镀膜台卡块(123)上连接有支撑钉(124)，所述支撑钉(124)顶部安装有滚子(125)，所述放置台卡块(113)和镀膜台卡块(123)为配合结构，所述支撑钉(124)和圆孔(114)为配合结构，所述镀膜台(12)一侧设置有镀膜台卡孔(126)。
5.根据权利要求4所述的一种太阳能电池PECVD镀膜装置，其特征在于：所述放置台卡孔(116)和镀膜台卡孔(126)连接有固定块(2)，所述固定块(2)包括固定块体(21)，所述固定块体(21)一侧连接有固定柱(22)，所述固定柱(22)上安装有固定螺母(23)，所述固定柱(22)和固定螺母(23)通过螺纹连接，所述固定块(2)通过固定柱(22)和固定螺母(23) 将硅片台(1)固定住。
6.根据权利要求5所述的一种太阳能电池PECVD镀膜装置，其特征在于：所述固定块体(21)上设置有支撑柱孔(24)，所述支撑柱孔(24)连接有支撑柱(3)，所述支撑柱孔(24)和支撑柱(3)通过螺纹连接，所述支撑柱(3)底部安装有从动齿轮(4)，所述支撑柱(3)一侧安装有双向电机(5)，所述双向电机(5)输出轴上安装有主动齿轮(6)，所述主动齿轮(6)和从动齿轮(4)轮齿啮合。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
