[实用新型]一种用于单晶炉二次加料器加掺杂工装

权利要求书

1.一种用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，其特征在于，包括聚四氟乙烯材质的漏斗(1)，以及石英材质的导流管(2)；所述漏斗(1)的底部设有内螺纹，所述导流管(2)的顶部设有外螺纹，漏斗(1)与导流管(2)通过内外螺纹可拆卸的连接。

2.根据权利要求1所述的用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，其特征在于，所述导流管(2)的底部设有下口加强环(3)，其为石英材质；导流管(2)的底部设有外螺纹，下口加强环(3)内部设有内螺纹，下口加强环(3)通过内外螺纹可拆卸的套接在导流管(2)的底部。

3.根据权利要求2所述的用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，其特征在于，所述导流管(2)靠近漏斗(1)的端部设有保护环(4)，其为聚四氟乙烯材质，通过套接的方式固定在导流管(2)上。

4.根据权利要求3所述的用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，其特征在于，所述导流管(2)位于保护环(4)的下方，还设有石英材质的支撑台(5)，所述支撑台(5)设有内螺纹，导流管(2)位于保护环(4)的下方设有外螺纹，支撑台(5)通过内外螺纹可拆卸的套接在导流管(2)上。

5.根据权利要求4所述的用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，其特征在于，所述漏斗(1)包括上方的圆锥部(11)和下方的管体部(12)，圆锥部(11)和管体部(12)一体成型；所述圆锥部(11)的上方开口半径为60～80mm；所述管体部(12)的外径为40～50mm。

6.根据权利要求5所述的用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，其特征在于，所述导流管(2)的外径为25～35mm。

7.根据权利要求6所述的用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，其特征在于，所述下口加强环(3)的外径为40～45mm。

8.根据权利要求6所述的用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，其特征在于，所述保护环(4)的外径为185～195mm。

9.根据权利要求6所述的用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，其特征在于，所述支撑台(5)的外径为40～50mm。