[实用新型]一种用于单晶炉二次加料器加掺杂工装

说明书

本实用新型公开了一种用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，包括聚四氟乙烯材质的漏斗，以及石英材质的导流管；所述漏斗的底部设有内螺纹，所述导流管的顶部设有外螺纹，漏斗与导流管通过内外螺纹可拆卸的连接。导流管的底部设有石英材质下口加强环；导流管靠近漏斗的端部设有聚四氟乙烯材质的保护环，保护环下方还设有石英材质的支撑台。该掺杂工装采用分体式结构设计，其上部为聚四氟乙烯漏斗，下部为石英导流管，两者采用螺纹连接可有效降低采购成本，且易于拆卸、组装及清洗。石英管损坏后仅更换下部石英管降低了使用成本。该工装选用材料均为高纯度材料可有效避免该工装对于多晶硅原料的污染。

技术领域

本实用新型属于单晶制备领域，具体涉及一种用于单晶炉二次加料器加掺杂工装。

背景技术

单晶硅棒电阻的控制主要是通过母合金为载体将掺杂元素加入到多晶原料内。而随着整个单晶行业的发展，掺杂元素的种类发生变更，目前主流是以纯元素进行掺杂。纯元素多为细小的颗粒状，在使用二次加料器时部分厂家采用石英漏斗将纯元素颗粒导入加料器内，该方案所采用的石英漏斗易磕碰损坏且采购成本较高。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种结构简单、使用寿命高、后期易维修保养且采购成本较低的加掺杂工装。

为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案如下：

一种用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，包括聚四氟乙烯材质的漏斗，以及石英材质的导流管；所述漏斗的底部设有内螺纹，所述导流管的顶部设有外螺纹，漏斗与导流管通过内外螺纹可拆卸的连接。

进一步地，所述导流管的底部设有下口加强环，其为石英材质；导流管的底部设有外螺纹，下口加强环内部设有内螺纹，下口加强环通过内外螺纹可拆卸的套接在导流管的底部，其起到结构强化、防止石英管下口磕碰损坏。

进一步地，所述导流管靠近漏斗的端部设有保护环，其为聚四氟乙烯材质，通过套接的方式固定在导流管上，主要起保护石英管，防止其摇晃撞击在石英加料器上，同时起到固定作用，保持该工装处于加料器中心位置。

进一步地，所述导流管位于保护环的下方，还设有石英材质的支撑台，所述支撑台设有内螺纹，导流管位于保护环的下方设有外螺纹，支撑台通过内外螺纹可拆卸的套接在导流管上，其作为支撑上方的聚四氟乙烯保护环。

优选地，所述漏斗包括上方的圆锥部和下方的管体部，圆锥部和管体部一体成型；所述圆锥部的上方开口半径为60～80mm；所述管体部的外径为40～50mm。

优选地，所述导流管的外径为25～35mm。

优选地，所述下口加强环的外径为40～45mm。

优选地，所述保护环的外径为185～195mm。

优选地，所述支撑台的外径为40～50mm。

有益效果：

本实用新型二次加料器加掺杂工装采用分体式结构设计，其上部为聚四氟乙烯漏斗，下部为石英导流管，两者采用螺纹连接可有效降低采购成本，且易于拆卸、组装及清洗。石英管损坏后仅更换下部石英管降低了使用成本。该工装选用材料均为高纯度材料可有效避免该工装对于多晶硅原料的污染。该掺杂剂工装创造性的将两种完全不同的材料结合到一起，各自发挥自己的特点，聚四氟乙烯漏斗材质自带柔性可避免与石英加料器的磕碰，石英管高纯且透明，当掺杂剂自漏斗处倒入后经石英管引流至加料器中部时可全程进行观察，跟踪掺杂剂加入的全过程，从而保证掺杂剂完全加入到多晶原料内，最终实现产品电阻的稳定可控。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做更进一步的具体说明，本实用新型的上述和/或其他方面的优点将会变得更加清楚。

图1为该用于单晶炉二次加料器加掺杂工装的结构示意图。