[实用新型]一种气相沉积炉

权利要求书

1.一种气相沉积炉,其特征在于，包括炉壳，所述炉壳内底部设有坩埚，所述坩埚上设有埚盖，所述炉壳内顶部设有卸料箱，所述卸料箱内设有集尘箱，所述埚盖与所述卸料箱之间连接有沉积板，所述沉积板、埚盖以及卸料箱底部之间形成沉积室，所述埚盖上开设有多个连通所述沉积室的第一通孔，所述卸料箱底部开设有连通所述沉积室的第二通孔，所述坩埚与所述炉壳之间设有第一加热器，所述沉积板与所述炉壳之间设有第二加热器。

2.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉，其特征在于，所述炉壳底部设有进气管，所述进气管包括外管，以及设置在所述外管内的内管，所述内管内形成第一进气道，所述第一进气道通向所述沉积室内，所述外管与所述内管之间形成环形的第二进气道，所述第二进气道通向所述坩埚内，所述进气管外接供气系统。

3.根据权利要求2所述的一种气相沉积炉，其特征在于，所述第一进气道与所述第二进气道横截面的面积相等。

4.根据权利要求2所述的一种气相沉积炉，其特征在于，所述第一进气道上均匀设有多个出气口，所述出气口位于所述沉积室内。

5.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉，其特征在于，所述气相沉积炉内设有循环冷却装置，所述循环冷却装置包括设置在所述炉壳外侧的冷却器，所述冷却器上分别连接有第一管道与第二管道，所述第一管道从所述炉壳底部插入至所述第一加热器一侧，所述第二管道从所述炉壳顶部插入至所述第二加热器一侧，所述第二管道上设有风机。

6.根据权利要求5所述的一种气相沉积炉，其特征在于，所述第二管道上连接有第三管道，所述第三管道连接有氮气罐，所述第三管道上设有用于打开与关闭所述氮气罐的气阀。

7.根据权利要求1-6任一项所述的一种气相沉积炉，其特征在于，所述炉壳内设有保温层。