[实用新型]一种气相沉积炉

说明书

本实用新型涉及沉积炉技术领域，特别是涉及一种气相沉积炉，包括炉壳，炉壳内底部这有坩埚，坩埚是设有埚盖，炉壳内顶部设有卸料箱，卸料箱内设有集尘箱，埚盖与卸料箱之间连接有沉积板，沉积板、埚盖以及卸料箱底部之间形成沉积室，埚盖上开设有多个连通沉积室的第一通孔，卸料箱底部开设有连通沉积室的第二通孔，坩埚与炉壳之间设有第一加热器，沉积板与炉壳之间设有第二加热器。通过第一加热器加热坩埚，使坩埚内的温度升高，放置在坩埚内的固体化学物质汽化，从多个第一通孔内进入到沉积室内，发生化学反应沉积，一小部分气体进入到卸料箱内，在卸料箱的顶部，温度降低，形成粉末状，受重力作用掉落至集尘箱内。

技术领域

本实用新型涉及沉积炉技术领域，特别是涉及一种气相沉积炉。

背景技术

气相沉积炉是应用气态物质在固体上产生化学反应和传输反应等并产生固态沉积物的一种设备，在中温、高温或者常压下都可以进行反应，化学气相沉积法不但可以对晶体或者晶体薄膜性能的改善有所帮助。

而现有的气相沉积炉还存在气流分布不均匀的问题，如果气流分布不均匀将会极大的影响化学物质沉积的厚度，从而影响产品的加工质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：提供一种气相沉积炉。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种气相沉积炉,包括炉壳，所述炉壳内底部设有坩埚，所述坩埚是设有埚盖，所述炉壳内顶部设有卸料箱，所述卸料箱内设有集尘箱，所述埚盖与所述卸料箱之间连接有沉积板，所述沉积板、埚盖以及卸料箱底部之间形成沉积室，所述埚盖上开设有多个连通所述沉积室的第一通孔，所述卸料箱底部开设有连通所述沉积室的第二通孔，所述坩埚与所述炉壳之间设有第一加热器，所述沉积板与所述炉壳之间设有第二加热器。坩埚用于放置固体化学原料，第一加热器用于加热坩埚，坩埚内的温度升高，固体化学原料受热汽化，汽化后的化学原料通过第一通孔进入到沉积室内，其中大部分化学原料通过沉积板的作用沉积到沉积室内，另外小部分化学原料进入到卸料箱内然后汽化后的化学原料由于温度降低，形成粉末状，受重力作用掉落至集尘箱内。

优选的，所述炉壳底部设有进气管，所述进气管包括外管，以及设置在所述外管内的内管，所述内管内形成第一进气道，所述第一进气道通向所述沉积室内，所述外管与所述内管之间形成环形的第二进气道，所述第二进气道通向所述坩埚内，所述进气管外接供气系统。供气系统启动后，气体同时由内管和外管进入到沉积室内与坩埚内，气体参与化学反应，使产品受气均匀，保证化学反应充分。

优选的，所述第一进气道与所述第二进气道横截面的面积相等。保证第一进气道与第二进气道的进入气体相同。

优选的，所述第一进气道上均匀设有多个出气口，所述出气口位于所述沉积室内。通过在第一进气道上均匀设有多个出气口，能够保证产品受气均匀，保证化学反应充分。

优选的，所述气相沉积炉内设有循环冷却装置，所述循环冷却装置包括设置在所述炉壳外侧的冷却器，所述冷却器上分别连接有第一管道与第二管道，所述第一管道从所述炉壳底部插入至所述第一加热器一侧，所述第二管道从所述炉壳顶部插入至所述第二加热器一侧，所述第二管道上设有风机。当需要降温时开启冷却器与风机，风机将炉壳内的气体抽出引入至冷却器中降温，并且，炉壳内、第一管道以及第二管道之间形成回流，依此循环仅用八小时就可以达到拆炉条件，从而大幅度缩短了炉体冷却时间和生产周期，技术效果非常突出，经济效益非常显著

优选的，所述第二管道上连接有第三管道，所述第三管道连接有氮气罐，所述第三管道上设有用于打开与关闭所述氮气罐的气阀。氮气化学性质很不活泼，不会与其他化学物质发生反应，并且，空气中的氮气含量78％，价格便宜，比较经济实惠。

优选的，所述炉壳内设有保温层。通过设置保温层，可以防止在沉积过程中，热量的流失，导致反应不充分。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是: