[实用新型]一种硅太阳能电池扩散炉有效
| 申请号： | 202021532223.X | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN212542461U | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 汪松柏;姜勇飞;徐明靖;孙俊杰 | 申请（专利权）人： | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/223;C30B31/06 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214028 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 扩散 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅太阳能电池扩散炉，包括炉体（1）、进气管（2）和排气管（3），其特征在于，所述进气管（2）一部分设置于炉体（1）外，另一部分设置于炉体（1）内，并沿炉体（1）轴向延伸至载片石英舟（4）的末端上方，炉体（1）内的进气管（2）部分设置有若干个喷淋口（5）；
所述排气管（3）设置于炉体（1）的底部，一部分设置于炉体（1）外，另一部分设置于炉体（1）内，炉体（1）内排气管（3）的长度为20-35厘米。
2.根据权利要求1所述的硅太阳能电池扩散炉，其特征在于，所述进气管（2）的末端封闭，位于所述载片石英舟（4）正上方的进气管（2）部分间隔设置有斜后45°的喷淋口（5）。
3.根据权利要求1所述的硅太阳能电池扩散炉，其特征在于，所述进气管（2）包括两根，两根进气管（2）对称分布在与所述载片石英舟（4）呈45度角的上方。
4.根据权利要求1所述的硅太阳能电池扩散炉，其特征在于，所述进气管（2）和排气管（3）均设置在炉体（1）的尾部。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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