[实用新型]一种硅太阳能电池扩散炉

说明书

本实用新型涉及一种扩散炉，具体涉及一种硅太阳能电池扩散炉。本实用新型的扩散炉包括炉体、进气管和排气管，所述进气管一部分设置于炉体外，另一部分设置于炉体内，并沿炉体轴向延伸至载片石英舟的末端上方，炉体内的进气管部分设置有若干个喷淋口；所述排气管设置于炉体的底部，一部分设置于炉体外，另一部分设置于炉体内，炉体内排气管的长度为20‑35厘米。本实用新型一方面将排气石英管的炉内长度缩短，减小自重，使得石英管炉尾支点处杆杆力减小，石英管不易折断；另一方面将磷源进气管增长，进气管由一根增加至两根，两根进气管对称分布在与所述载片石英舟呈45度角的上方，并设置斜后45度喷淋口，磷源在管内分布更均匀，硅片扩散方阻更均匀。

技术领域

本实用新型涉及一种扩散炉，特别涉及到一种硅太阳能电池扩散炉。

背景技术

扩散是太阳能电池制程的关键步骤。扩散炉管内主要有两根石英管，一根为磷源进气管，一根为抽排尾气石英管。其中现有的抽排尾气石英管抽排方式存在设计缺陷，如图3所示，扩散抽排尾气石英管常有断裂，影响产能，影响产品品质，维护费用高。目前扩散抽排尾气石英管，为炉口抽气，石英管工作时，由于炉内外温差近800℃，高温偏磷酸在炉尾末端快速在尾气石英管壁冷凝，随时间推移增厚聚集，持久高温作用下形成固体堵块，最终完全堵塞尾气石英管。设备压力报警，停机维护。尾气石英管在完全堵塞前一段时间，扩散管虽正常工作，但由于尾气抽排不畅，会形成多批次扩散不良品。

另一方面聚集的偏磷酸慢慢腐蚀尾气石英管壁，石英管壁变薄，2米长石英管的自重作用于炉尾支撑点，在杠杆力作用下经常使腐蚀减薄的尾气石英管断裂。

现有尾气石英管管体笨长，维护清堵时难拆卸、难清理，维护麻烦，进气磷源在管内分布不均，硅片接触磷源面分布不均匀，同时炉口内硅片接触磷源时间上有先后，导致硅片磷源扩散不均匀。

发明内容

本实用新型为解决现有硅太阳能电池扩散尾气抽排石英管易断裂、难维护、扩散不均匀的问题，提供了一种硅太阳能电池扩散炉。本实用新型的扩散炉一方面将排气石英管的炉内长度由2米缩短到20-35厘米，减小自重，石英管炉尾支点处杆杆力减小，使得石英管不易折断，能够延长使用寿命，维护方法更简单；另一方面将磷源进气管由30厘米的炉尾短管增长到1.7米，进气管由一根增加至两根，两根进气管对称分布在与所述载片石英舟呈45度角的上方，并在管头30厘米到管尾中间间隔设置斜后45度喷淋口，磷源在管内分布更均匀，硅片扩散方阻更均匀。

为解决现有技术的不足，本实用新型采用以下技术方案：一种硅太阳能电池扩散炉，包括炉体、进气管和排气管，所述进气管一部分设置于炉体外，另一部分设置于炉体内，并沿炉体轴向延伸至载片石英舟的末端上方，炉体内的进气管部分设置有若干个喷淋口；

所述排气管设置于炉体的底部，一部分设置于炉体外，另一部分设置于炉体内，炉体内排气管的长度为20-35厘米。

所述进气管的末端封闭，位于所述载片石英舟正上方的进气管部分间隔设置有斜后45°的喷淋口。

所述进气管包括两根，两根进气管对称分布在与所述载片石英舟呈45度角的上方。

所述进气管和排气管均设置在炉体的尾部。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

(1)本实用新型的扩散炉排气方式由常规的炉口排气改为炉尾排气，排气石英管由炉内2米缩短到炉内20-35厘米，自重减小，石英管炉尾支点处杆杆力减小，石英管不易折断，并且石英管短小易抽出，易清理导通，能够及时清理偏磷酸，延长尾气石英管使用寿命。