[实用新型]一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源

权利要求书

1.一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源，其特征在于：包括蒸发源本体和冷却水管，所述蒸发源本体内具有用于冷却靶块的冷却水腔，所述靶块安装于蒸发源本体上，所述冷却水管为两根，所述冷却水管包括第一管体和第二管体，两根所述第一管体的前端分别连接冷却水腔的入口端和出口端，两根所述第一管体的后端均固设有连接头，两根所述第二管体的前端分别连接在两个连接头的后端，两根所述第二管体的后端均连接真空镀膜机的冷却水箱；所述连接头包括第一连接部和第二连接部，所述第一连接部包括第一圆筒，所述第一圆筒的前端设有封闭板，所述封闭板的中部设有连接孔，所述第一管体的后端与连接孔正对固定连接，所述第一圆筒内从前至后依次设有固定板、第一固定环、第二固定环、软胶环和内螺纹，所述固定板上设有多个第一过水孔，所述固定板与第一固定环之间设有第一弹簧和第一塞子，所述第一弹簧的前端抵触在固定板上，所述第一弹簧的后端抵触在第一塞子上，所述第一塞子用于向后封闭第一固定环的内孔，所述软胶环的前侧面抵触在第二固定环的后侧面；所述第二连接部包括第二圆筒，所述第二管体的前端与第二圆筒的后端正对固定连接，所述第二圆筒的外表面固设有第三固定环，所述第二圆筒的外表面套设有套筒，所述套筒的外表面设有与第一圆筒内的内螺纹适配的外螺纹，所述第二圆筒内设有移动板和第四固定环，移动板上设有多个第二过水孔，所述移动板和第四固定环之间设有第二弹簧，所述第二弹簧的前端抵触在移动板上，所述第二弹簧的后端抵触在第四固定环上，所述移动板的中部固设有推杆，所述推杆的前端位于移动板的前方，所述推杆的后端向后依次穿过移动板、第二弹簧和第四固定环的内孔后固设有第二塞子，所述第二塞子用于向前封闭第四固定环的内孔。

2.如权利要求1所述的一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源，其特征在于：所述固定板的中部设有导向孔，所述导向孔内设有导向杆，所述导向杆的后端依次穿过导向孔和第一弹簧后固定在第一塞子的前端。

3.如权利要求1所述的一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源，其特征在于：所述移动板与第二圆筒的内腔配合。

4.如权利要求1所述的一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源，其特征在于：所述第二圆筒上设有第五固定环，所述套筒位于第三固定环和第五固定环之间。

5.如权利要求1所述的一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源，其特征在于：所述套筒上设有旋钮，所述旋钮的中部设有圆孔，所述套筒的后端固定在圆孔内。