[实用新型]一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源

说明书

本实用新型提供一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源，包括蒸发源本体和冷却水管，蒸发源本体内具有用于冷却安装于蒸发源本体上的靶块的冷却水腔，冷却水管为两根，冷却水管包括第一管体和第二管体，两根第一管体的前端分别连接冷却水腔的入口端和出口端，两根第一管体的后端均固设有连接头，两根第二管体的前端分别连接在两个连接头的后端，两根第二管体的后端均连接真空镀膜机的冷却水箱；连接头包括第一连接部和第二连接部。由于采用了上述技术方案，在真空镀膜机的真空腔的腔壁上拆卸蒸发源本体时更加方便；方便将蒸发源本体转移至操作室进行灰尘的清理和导电性的检测。

技术领域

本实用新型涉及多弧离子镀膜机，具体是一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源。

背景技术

多弧真空镀膜机安装在真空镀膜机的真空腔的腔壁上，蒸发源包括位于真空腔内的靶块和位于靶块周围的导磁环，导磁环有绝缘材料制成，在使用过程中，导磁环上、导磁环和靶块之间的间隙内和导磁环和真空腔腔壁上的安装孔之间的间隙内均会积累灰尘，灰尘能够导电，为了防止短路的情况发生，需要经常将蒸发源从真空腔的腔壁上取下对灰尘进行仔细清理，在清理灰尘过后还需要检测靶块和导磁环边缘之间是否能导电。

由于现有的蒸发源内的冷却水腔和真空镀膜机的冷却水箱之间连接有冷却水管，且冷却水管为完整的一根冷却水管，冷却水管较长且很难从蒸发源上拆下，所以目前在拆卸蒸发源时，整根较长的冷却水管连接在蒸发源上，会干扰工人的操作，在拆卸蒸发源时较为不便；在将蒸发源拆下后，由于蒸发源连接整根较长的冷却水管，不方便将蒸发源搬移至专门的灰尘清理和导电性检测的操作室。

实用新型内容

针对上述现有技术存在的技术问题，本实用新型提供了一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源。

本实用新型的目的是通过这样的技术方案实现的，它包括蒸发源本体和冷却水管，所述蒸发源本体内具有用于冷却安装于蒸发源本体上的靶块的冷却水腔，所述冷却水管为两根，所述冷却水管包括第一管体和第二管体，两根所述第一管体的前端分别连接冷却水腔的入口端和出口端，两根所述第一管体的后端均固设有连接头，两根所述第二管体的前端分别连接在两个连接头的后端，两根所述第二管体的后端均连接真空镀膜机的冷却水箱；所述连接头包括第一连接部和第二连接部，所述第一连接部包括第一圆筒，所述第一圆筒的前端设有封闭板，所述封闭板的中部设有连接孔，所述第一管体的后端与连接孔正对固定连接，所述第一圆筒内从前至后依次设有固定板、第一固定环、第二固定环、软胶环和内螺纹，所述固定板上设有多个第一过水孔，所述固定板与第一固定环之间设有第一弹簧和第一塞子，所述第一弹簧的前端抵触在固定板上，所述第一弹簧的后端抵触在第一塞子上，所述第一塞子用于向后封闭第一固定环的内孔，所述软胶环的前侧面抵触在第二固定环的后侧面；所述第二连接部包括第二圆筒，所述第二管体的前端与第二圆筒的后端正对固定连接，所述第二圆筒的外表面固设有第三固定环，所述第二圆筒的外表面套设有套筒，所述套筒的外表面设有与第一圆筒内的内螺纹适配的外螺纹，所述第二圆筒内设有移动板和第四固定环，移动板上设有多个第二过水孔，所述移动板和第四固定环之间设有第二弹簧，所述第二弹簧的前端抵触在移动板上，所述第二弹簧的后端抵触在第四固定环上，所述移动板的中部固设有推杆，所述推杆的前端位于移动板的前方，所述推杆的后端向后依次穿过移动板、第二弹簧和第四固定环的内孔后固设有第二塞子，所述第二塞子用于向前封闭第四固定环的内孔。

进一步，所述固定板的中部设有导向孔，所述导向孔内设有导向杆，所述导向杆的后端依次穿过导向孔和第一弹簧后固定在第一塞子的前端。

进一步，所述移动板与第二圆筒的内腔配合。

进一步，所述第二圆筒上设有第五固定环，所述套筒位于第三固定环和第五固定环之间。

进一步，所述套筒上设有旋钮，所述旋钮的中部设有圆孔，所述套筒的后端固定在圆孔内。

由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：