[实用新型]一种适用于12英寸晶圆盒改造为8英寸晶圆盒的装置

说明书

本实用新型公开了一种适用于12英寸晶圆盒改造为8英寸晶圆盒的装置，包括基座，所述基座的上侧对称固定连接有两个侧板，两个所述侧板相对的一侧均设置有可放置不同尺寸晶圆的调节机构，两个所述侧板相对的一侧共同固定连接有顶板，所述顶板的上侧固定连接有提手，所述顶板与基座之间设置有可限制晶圆位置的限制机构，所述基座与顶板相对的一侧共同固定连接有挡板。本实用新型结构设计合理，根据需求调整调节板的位置，无需更换不同的晶圆盒进行存放，方便夹持不同尺寸的晶圆，提高了装置的实用性。

技术领域

本实用新型涉及晶圆盒技术领域，尤其涉及一种适用于12英寸晶圆盒改造为8英寸晶圆盒的装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，在半导体制造工艺的过程中，晶圆的存放往往回采用晶圆盒作为可携式容器，但传统的晶圆盒结构简单，功能单一，只能将一种尺寸的晶圆进行放置存放，而存放其他尺寸的晶圆时需采用不同的晶圆盒，存在一定的局限性。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种适用于12英寸晶圆盒改造为8英寸晶圆盒的装置，其根据需求调整调节板的位置，无需更换不同的晶圆盒进行存放，方便夹持不同尺寸的晶圆，提高了装置的实用性。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种适用于12英寸晶圆盒改造为8英寸晶圆盒的装置，包括基座，所述基座的上侧对称固定连接有两个侧板，两个所述侧板相对的一侧均设置有可放置不同尺寸晶圆的调节机构，两个所述侧板相对的一侧共同固定连接有顶板，所述顶板的上侧固定连接有提手，所述顶板与基座之间设置有可限制晶圆位置的限制机构，所述基座与顶板相对的一侧共同固定连接有挡板，所述挡板的侧壁等间距设置有多个弧形槽。

优选地，所述调节机构包括贯穿设置在侧板中部位置上的螺杆，所述螺杆与侧板螺纹连接，所述螺杆的一端固定连接有旋块，所述侧板朝内的一侧设置有凹槽，所述凹槽的内部设置有可左右移动的调节板，所述螺杆远离旋块的一端与调节板固定连接，所述凹槽相对的两侧均固定连接有限位块，所述调节板的侧壁等间距设置有多个放置槽。

优选地，所述限制机构包括设置在顶板与基座之间的限制板，所述顶板与基座相对的一侧均设置有滑槽，所述限制板位于两个滑槽的内部，所述顶板上设置有用于限位限制板的限位机构。

优选地，所述限位机构包括贯通设置在顶板上的两个插孔，其中一个所述插孔的内部设置有插销，所述限制板的上侧设置有与插销相适配的限位孔。

优选地，多个所述弧形槽分别与多个放置槽处于同一水平。

优选地，所述提手上套设有防滑套。

本实用新型具备以下有益效果：

1、通过调节机构的设置，利用螺杆的转动可调整调节板的位置，能够根据需求调整调节板的位置，方便夹持不同尺寸的晶圆，提高了装置的实用性；

2、通过限制机构与限位机构，利用限制板将晶圆的位置限制固定，方便晶圆的放置，而插销可将限制板进行限位固定。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种适用于12英寸晶圆盒改造为8英寸晶圆盒的装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种适用于12英寸晶圆盒改造为8英寸晶圆盒的装置的俯视结构示意图。

图中：1基座、2侧板、3旋块、4螺杆、5调节板、6放置槽、7 限位块、8顶板、9提手、10挡板、11插销、12限制板、13滑槽、 14弧形槽、15插孔。

具体实施方式