[实用新型]改进型双管石英管真空封装装置有效

专利信息
申请号: 202021553871.3 申请日: 2020-07-30
公开(公告)号: CN212833888U 公开(公告)日: 2021-03-30
发明(设计)人: 张锦彬;王翠萍;刘兴军;杨水源;韩佳甲;黄艺雄;郭毅慧;卢勇 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: C21D1/773 分类号: C21D1/773
代理公司: 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 代理人: 张素斌
地址: 361005 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 改进型 双管 石英管 真空 封装 装置
【权利要求书】:

1.改进型双管石英管真空封装装置,其特征在于:包括石英管和火焰枪;所述火焰枪设于石英管的瓶颈下方,所述石英管通过法兰固定于气路管道上,所述气路管道上依次设有压力真空表、充气阀和高真空角阀,所述充气阀连接惰性气源,所述高真空角阀与真空泵连接,所述气路管道上还连接有规管,所述规管连接真空计。

2.如权利要求1所述的改进型双管石英管真空封装装置,其特征在于:所述石英管设有两组,相对应地,所述气路管道、压力真空表、充气阀和高真空角阀也对应石英管分别设有两组。

3.如权利要求2所述的改进型双管石英管真空封装装置,其特征在于:两组高真空角阀通过一连通管道连接,所述连通管道与真空泵连接。

4.如权利要求1所述的改进型双管石英管真空封装装置,其特征在于:所述真空计采用电阻式真空计,所述规管采用电阻式规管。

5.如权利要求1所述的改进型双管石英管真空封装装置,其特征在于:所述法兰采用快卸法兰。

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