[实用新型]清洁设备有效

专利信息
申请号: 202021559983.X 申请日: 2020-07-30
公开(公告)号: CN213162236U 公开(公告)日: 2021-05-11
发明(设计)人: 詹新明;牛雪雷 申请(专利权)人: 青岛歌尔微电子研究院有限公司
主分类号: B08B5/02 分类号: B08B5/02;B08B7/00;B08B13/00;H01L21/67;H05F3/06;B01D46/12
代理公司: 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 代理人: 晏波
地址: 266104 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 清洁 设备
【权利要求书】:

1.一种清洁设备,其特征在于,包括:

机壳,所述机壳设有排风口;

产品固定支架,所述产品固定支架设于所述机壳内;

风机过滤机组,所述风机过滤机组设于所述机壳,以对所述机壳内部吹风;以及

离子风组件,所述离子风组件设于所述机壳内,用以对安装于所述产品固定支架上的产品吹风。

2.如权利要求1所述的清洁设备,其特征在于,所述产品固定支架设有用于安装产品的工位孔,所述离子风组件设于所述产品固定支架的下方,并朝向所述工位孔吹风。

3.如权利要求2所述的清洁设备,其特征在于,所述离子风组件包括设于所述机壳内的移动机构和离子风机,所述离子风机与所述移动机构驱动连接。

4.如权利要求3所述的清洁设备,其特征在于,所述清洁设备还包括设于所述机壳内的安装台;所述移动机构包括安装于所述安装台的丝杆导轨和电机,所述丝杆导轨与所述电机传动连接,所述离子风机与所述丝杆导轨驱动连接。

5.如权利要求3或4所述的清洁设备,其特征在于,所述离子风机的出风口倾斜设置,所述出风口相对于竖直方向的倾斜角度为30°~60°;

及/或,所述离子风机的出风口距所述产品固定支架的垂直距离在30mm~100mm之间。

6.如权利要求1至4任意一项所述的清洁设备,其特征在于,所述风机过滤机组设于所述机壳的顶部。

7.如权利要求6所述的清洁设备,其特征在于,所述风机过滤机组包括风机和过滤网模块,所述过滤网模块设于所述机壳的顶部,所述风机设于所述过滤网模块的外部。

8.如权利要求1至4任意一项所述的清洁设备,其特征在于,所述排风口设于所述机壳的底部。

9.如权利要求8所述的清洁设备,其特征在于,所述机壳的底部除所述排风口之外的区域设有粘性膜。

10.如权利要求1至4任意一项所述的清洁设备,其特征在于,所述清洁设备还包括排风管,所述排风管连接于所述排风口。

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