[实用新型]清洁设备

说明书

本实用新型公开一种清洁设备，包括机壳、产品固定支架、风机过滤机组以及离子风组件；机壳设有排风口；产品固定支架设于机壳内；风机过滤机组设于机壳，以对机壳内部吹风；离子风组件设于机壳内，用以对安装于产品固定支架上的产品吹风。本实用新型技术方案清洁设备实现了通过双重清洁作用将产品上的异物吹出的功能，防止了二次污染，有效清除产品表面的异物，提升了产品良率。

技术领域

本实用新型涉及清洁除尘技术领域，特别涉及一种清洁设备。

背景技术

目前，在电子元器件的制造过程中，都需要使用到wafer(晶片)、IC(IntegratedCircuit集成电路)、ASIC(Application Specific Integrated Circuit，集成电路)等晶圆结构。而在实际工作中发现，产品封装过程中，受到车间环境、人员、设备频繁调试、周转等影响，均会不同程度地增加异物，影响晶圆良率。相关技术中，现有的清洁设备通常采用离子风吹异物的方式来清除异物，但是离子风仅能够吹落一些较大的异物，而无法保证外来异物的再次污染，导致整体清除异物的效果较差。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种清洁设备，旨在有效清除产品表面的异物，提升产品良率。

为实现上述目的，本实用新型提出的清洁设备，包括机壳、产品固定支架、风机过滤机组以及离子风组件；所述机壳设有排风口；所述产品固定支架设于所述机壳内；所述风机过滤机组设于所述机壳，以对所述机壳内部吹风；所述离子风组件设于所述机壳内，用以对安装于所述产品固定支架上的产品吹风。

在本实用新型一实施例中，所述产品固定支架设有用于安装产品的工位孔，所述离子风组件设于所述产品固定支架的下方，并朝向所述工位孔吹风。

在本实用新型一实施例中，所述离子风组件包括设于所述机壳内的移动机构和离子风机，所述离子风机与所述移动机构驱动连接。

在本实用新型一实施例中，所述清洁设备还包括设于所述机壳内的安装台；所述移动机构包括安装于所述安装台的丝杆导轨和电机，所述丝杆导轨与所述电机传动连接，所述离子风机与所述丝杆导轨驱动连接。

在本实用新型一实施例中，所述离子风机的出风口倾斜设置，所述出风口相对于竖直方向的倾斜角度为30°～60°。

在本实用新型一实施例中，所述离子风机的出风口距所述产品固定支架的垂直距离在30mm～100mm之间。

在本实用新型一实施例中，所述风机过滤机组设于所述机壳的顶部。

在本实用新型一实施例中，所述风机过滤机组包括风机和过滤网模块，所述过滤网模块设于所述机壳的顶部，所述风机设于所述过滤网模块的外部。

在本实用新型一实施例中，所述排风口设于所述机壳的底部。

在本实用新型一实施例中，所述机壳的底部除所述排风口之外的区域设有粘性膜。

在本实用新型一实施例中，所述清洁设备还包括排风管，所述排风管连接于所述排风口。

本实用新型技术方案清洁设备中，通过在机壳内设置产品固定支架和离子风组件，该离子风组件用于对安装于产品固定支架上的产品吹离子风，以吹落产品表面异物的同时能够消除产品表面的静电，使得产品上的异物杂质掉落至机壳的空间内，同时在该机壳上设置风机过滤机组，风机过滤机组能够对机壳的整个内部空间吹洁净风，保证整个机壳内部空间的洁净度，进而将异物通过排风口吹出，从而实现了通过双重清洁作用将产品上的异物吹出的功能，防止了二次污染，有效清除产品表面的异物，提升了产品良率。

附图说明