[实用新型]基于微机电系统的垂直探针

权利要求书

1.一种基于微机电系统的垂直探针，其特征在于，包括探针主体，所述探针主体包括第一端部、第二端部，以及位于第一端部、第二端部之间，分别与第一端部、第二端部相连的弹性连接部，所述第一端部、第二端部、弹性连接部为一体结构，所述弹性连接部与所述第二端部形成连续的半圆弧状结构，所述探针主体采用光化学蚀刻制作而成。

2.如权利要求1所述的基于微机电系统的垂直探针，其特征在于，所述探针主体上设有第一卡扣，所述第一卡扣位于所述第一端部与所述弹性连接部的连接处。

3.如权利要求2所述的基于微机电系统的垂直探针，其特征在于，所述探针主体上设有第二卡扣，所述第二卡扣靠近所述第二端部。

4.如权利要求3所述的基于微机电系统的垂直探针，其特征在于，所述第一卡扣、第二卡扣分别向所述弹性连接部的相反的两侧凸出。

5.如权利要求1至4任一项所述的基于微机电系统的垂直探针，其特征在于，所述探针主体采用钯镍合金制成。

6.如权利要求1至4任一项所述的基于微机电系统的垂直探针，其特征在于，所述探针主体至少包括第一主体及第二主体，所述探针主体由第一主体、第二主体在与弹性连接部的变形方向垂直的方向上堆叠而成。

7.如权利要求1至4任一项所述的基于微机电系统的垂直探针，其特征在于，所述探针主体至少包括第一主体及第二主体，所述探针主体由第一主体、第二主体在弹性连接部的变形方向上堆叠而成。