[实用新型]一种单晶磨削装置、单晶磨削一体机

权利要求书

1.一种单晶磨削装置，其特征在于：包括粗磨砂轮组和精磨砂轮组，所述粗磨砂轮组与所述精磨砂轮组沿着单晶的长度方向依次设置，对单晶的平面及外圆进行磨削；其中，

所述粗磨砂轮组包括第一粗磨砂轮装置和第二粗磨砂轮装置，所述第一粗磨砂轮装置与所述第二粗磨砂轮装置平行设置，且所述第一粗磨砂轮装置与所述第二粗磨砂轮装置可相对移动，对单晶的平面及外圆进行磨削；

所述精磨砂轮组包括第一精磨砂轮装置和第二精磨砂轮装置，所述第一精磨砂轮装置与所述第二精磨砂轮装置平行设置，且所述第一精磨砂轮装置与所述第二精磨砂轮装置可相对移动，对单晶的平面及外圆进行磨削。

2.根据权利要求1所述的单晶磨削装置，其特征在于：所述第一粗磨砂轮装置与所述第二粗磨砂轮装置可在水平方向和纵向方向上进行相对移动。

3.根据权利要求1或2所述的单晶磨削装置，其特征在于：所述第一精磨砂轮装置与所述第二精磨砂轮装置可在水平方向和纵向方向上进行相对移动。

4.根据权利要求3所述的单晶磨削装置，其特征在于：所述第一粗磨砂轮装置与所述第二粗磨砂轮装置均包括粗磨砂轮、粗磨动力驱动装置、纵向升降装置和水平伸缩装置，所述粗磨砂轮与所述粗磨动力驱动装置连接，所述粗磨动力驱动装置、所述水平伸缩装置与所述纵向升降装置依次连接，使得所述粗磨砂轮在所述粗磨动力驱动装置作用下旋转，并在所述水平伸缩装置与所述纵向升降装置作用下进行水平方向和纵向方向移动。

5.根据权利要求4所述的单晶磨削装置，其特征在于：所述第一精磨砂轮装置与所述第二精磨砂轮装置均包括精磨砂轮、精磨动力驱动装置、精磨纵向升降装置和精磨水平伸缩装置，所述精磨砂轮与所述精磨动力驱动装置连接，所述精磨动力驱动装置、所述精磨水平伸缩装置与所述精磨纵向升降装置连接，使得所述精磨砂轮在所述精磨动力驱动装置作用下转动，并在所述精磨水平伸缩装置与所述精磨纵向升降装置作用下在水平方向和纵向方向上移动。

6.根据权利要求5所述的单晶磨削装置，其特征在于：所述粗磨砂轮与所述精磨砂轮均为杯状砂轮。

7.一种单晶磨削一体机，其特征在于：包括如权利要求1-6任一项所述的单晶磨削装置、夹持装置和控制系统，所述夹持装置设于所述单晶磨削装置的两端，用于对单晶夹持；所述控制系统分别与所述单晶磨削装置和夹持装置电连接，所述控制系统控制所述夹持装置与所述单晶磨削装置动作，使得单晶能够在所述夹持装置作用下进行旋转和往复移动。

8.根据权利要求7所述的单晶磨削一体机，其特征在于：所述夹持装置包括夹具、水平移动装置和旋转装置，所述夹具、所述旋转装置与所述水平移动装置依次连接，使得所述夹具在所述旋转装置与所述水平移动装置的作用下进行旋转和水平移动。