[实用新型]一种IGBT模块自动固化设备有效
申请号: | 202021568272.9 | 申请日: | 2020-08-01 |
公开(公告)号: | CN212342581U | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
发明(设计)人: | 饶道龚;李广平;葛正;杨三龙;林伟民 | 申请(专利权)人: | 浙江大学台州研究院 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L29/739 |
代理公司: | 台州市南方商标专利代理有限公司 33225 | 代理人: | 毕勇 |
地址: | 317600 浙江省台州市玉环市机电产业功能区*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 igbt 模块 自动 固化 设备 | ||
1.一种IGBT模块自动固化设备,其特征在于:包括中转台装置,中转台装置前部上方设有一小托盘上下料机架;所述小托盘上下料机架左部、右部皆设有与其相匹配的小托盘移料装置;所述小托盘上下料机架左侧、右侧皆设有与小托盘移料装置相匹配的小托盘输送装置;所述中转台装置后侧设有一与其相匹配的大托盘输送装置;所述大托盘输送装置后侧左右两边分别设有与其相匹配的烘烤装置、缓存装置。
2.根据权利要求1所述的一种IGBT模块自动固化设备,其特征在于:所述中转台装置包括工作台;所述工作台上设有若干均匀分布的大托盘底座,大托盘底座呈“凵”字型;所述大托盘底座后侧设有一与大托盘输送装置相对的大托盘夹持口;所述大托盘底座上端左右两侧内壁设有互为对称的卡位台阶;所述大托盘底座上放置有与其相匹配的大托盘,大托盘左右两端分别卡于卡位台阶上;所述大托盘底座前侧内壁设有一大托盘检测传感器;所述大托盘上设有若干均匀分布的顶起孔;所述顶起孔上端孔口边沿设有一呈“口”字型的限位台阶;所述工作台内设有若干与顶起孔位置相对应的电动缸;所述电动缸的活塞杆上端向上穿出工作台上表面并设有一小托盘顶板,小托盘顶板可通过顶起孔上下移动;所述工作台上表面设有若干与顶起孔位置相对应的小托盘检测传感器。
3.根据权利要求2所述的一种IGBT模块自动固化设备,其特征在于:所述大托盘底座前侧侧壁中部设有一纵向缺口,大托盘底座前侧设有与纵向缺口位置相对应的纵向摆正气缸;所述大托盘左右两侧其中一侧侧壁设有横向缺口,横向缺口左右两侧其中一侧设有与横向缺口位置相对应的横向摆正气缸;所述横向摆正气缸的活塞杆端部设有一横向摆正板;所述纵向摆正气缸的活塞杆端部设有一纵向摆正板。
4.根据权利要求1所述的一种IGBT模块自动固化设备,其特征在于:所述小托盘移料装置包括设于小托盘上下料机架上的齿轮齿条滑台;所述齿轮齿条滑台包括一滑座,滑座上设有与其相匹配的伺服电机;所述滑座右侧侧壁设有一横向模组;所述横向模组的移动体连接有一纵向模组,纵向模组与横向模组互为垂直;所述横向模组与纵向模组皆为滚珠丝杠滑台;所述纵向模组的移动体连接有一升降托板;所述升降托板右端下表面设有夹持双向气缸;所述夹持双向气缸两侧的活塞杆皆设有定位块;所述定位块下端边沿向内延伸出一限位翻边;所述升降托板右端上表面设有一相机架;所述相机架上端左侧设有一视觉相机。
5.根据权利要求1所述的一种IGBT模块自动固化设备,其特征在于:所述小托盘输送装置包括小托盘输送架;所述小托盘输送架前后两侧设有互为对称的输送线;所述小托盘输送架一端设有与输送线相匹配的驱动电机;所述小托盘输送架一侧设有一扫码器支架;所述扫码器支架上端设有一扫码器;所述小托盘输送架未设有驱动电机的另一端下表面设有一顶升气缸;所述顶升气缸的活塞杆上端向上穿出至小托盘输送架上方并设有一顶升板,顶升板位于两侧输送线之间;所述小托盘输送架上表面设有顶升检测传感器、扫码检测传感器;所述小托盘输送架上表面设有与顶升检测传感器位置相对应的顶升止动气缸、与扫码检测传感器位置相对应的扫码止动气缸。
6.根据权利要求1所述的一种IGBT模块自动固化设备,其特征在于:所述大托盘输送装置包括大托盘输送架;所述大托盘输送架上表面前后两侧设有互为对称的行走导轨;所述行走导轨上设有与其相匹配的行走机构;所述行走机构上表面中心设有一回转机构;所述回转机构上表面设有升降机构;所述升降机构包括设于左侧内壁的升降导轨,升降导轨上设有与其相匹配的升降座;所述升降座上设有第一进给模组;所述升降座上设有第二进给模组;所述第二进给模组上表面设有一移动板;所述移动板上表面左右两侧设有互为对称的压紧气缸板;所述压紧气缸板上设有一压紧气缸;所述压紧气缸的活塞杆下端设有一压紧块;所述移动板左右两端设有与压紧块位置相对应的支撑条,支撑条位于压紧块正下方;所述升降机构前侧左边设有一侧面检测传感器;所述移动板上表面设有正面检测传感器、扫描传感器。
7.根据权利要求1所述的一种IGBT模块自动固化设备,其特征在于:所述缓存装置包括缓存箱;所述缓存箱与大托盘输送装置相对的一侧设有若干均匀分布的缓存区;所述缓存区两侧内壁设有若干呈纵向均匀分布的搁条。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造