[实用新型]一种支撑烘烤晶舟有效

专利信息
申请号: 202021572654.9 申请日: 2020-07-31
公开(公告)号: CN212625519U 公开(公告)日: 2021-02-26
发明(设计)人: 吴永利 申请(专利权)人: 芯米(厦门)半导体设备有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 代理人: 吴圳添
地址: 361000 福建省厦门市火炬*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 支撑 烘烤
【权利要求书】:

1.一种支撑烘烤晶舟,包括侧板(1)和晶舟主体(2),所述侧板(1)为两个,两个所述侧板(1)对称设置于所述晶舟主体(2)左右两端端部,且两个所述侧板(1)左右对立面开设有放置槽(3);

其特征在于:还包括支撑机构(4),所述支撑机构(4)设置于所述晶舟主体(2)后端,所述支撑机构(4)包括外壳(41)、转杆(42)、棘轮(43)、齿轮(44)、转筒(45)、卡板(46)、推板(47)、齿条(48)、U型板(49)、夹板(410)、弹簧(411)、传动机构(412)和支撑板(413),所述外壳(41)安装于所述晶舟主体(2)后端面左右两端,所述转杆(42)穿过所述外壳(41)后紧固于所述棘轮(43)内圈,所述齿轮(44)焊接于所述棘轮(43)底端面,且所述齿轮(44)与所述齿条(48)侧端面相互啮合,所述转筒(45)活动嵌套于所述转杆(42)外侧前端,且所述转筒(45)贯穿于所述外壳(41)中部,所述卡板(46)通过卷弹簧铰接于所述外壳(41)内侧左后端,且所述卡板(46)外侧右端活动伸入于所述棘轮(43)侧表面,所述推板(47)紧固于所述转筒(45)左端底部,且所述推板(47)贴合于所述卡板(46)前端面左端,所述齿条(48)滑动安装于所述外壳(41)内侧右端,且所述齿条(48)穿过所述外壳(41)后锁固于所述U型板(49)中部,所述夹板(410)铰接于所述U型板(49)内侧,所述弹簧(411)两端分别固定连接于所述夹板(410)右端面后端和所述U型板(49)内侧右端面,所述支撑板(413)通过所述传动机构(412)于所述外壳(41)右端转动。

2.根据权利要求1所述一种支撑烘烤晶舟,其特征在于:所述传动机构(412)包括曲板(4121)、凹槽(4122)、固定柱(4123)、滑动杆(4124)和螺栓(4125),所述曲板(4121)铰接于所述外壳(41)右端面前端开设的开口内侧,且所述曲板(4121)活动伸入于所述凹槽(4122)内侧,所述凹槽(4122)开设于所述齿条(48)右端面中部,所述固定柱(4123)紧固于所述凹槽(4122)内侧底端面,且所述固定柱(4123)活动伸入于所述曲板(4121)底端面左端开设的透孔内侧。

3.根据权利要求2所述一种支撑烘烤晶舟,其特征在于:所述滑动杆(4124)贯穿于所述曲板(4121)右端面开设的插槽内侧,且所述滑动杆(4124)贴合于所述支撑板(413)前端面。

4.根据权利要求3所述一种支撑烘烤晶舟,其特征在于:所述螺栓(4125)穿过曲板(4121)顶端面右端后与所述滑动杆(4124)顶端面开设的螺孔内侧螺纹连接。

5.根据权利要求1所述一种支撑烘烤晶舟,其特征在于:所述外壳(41)后端面中部开设有连接槽,且所述连接槽内侧左右两端开设有连接螺孔。

6.根据权利要求1所述一种支撑烘烤晶舟,其特征在于:所述外壳(41)右端面后端开设有方形槽,且所述方形槽内侧长度相对应所述支撑板(413)宽度。

7.根据权利要求1所述一种支撑烘烤晶舟,其特征在于:所述转杆(42)外侧T字外形,且所述转杆(42)外侧后端设置有防滑纹。

8.根据权利要求1所述一种支撑烘烤晶舟,其特征在于:所述卡板(46)前端面与所述外壳(41)内侧后端面呈45°夹角,且所述卡板(46)呈由左至右渐缩的锥形状。

9.根据权利要求1所述一种支撑烘烤晶舟,其特征在于:所述支撑板(413)厚度为0.15cm至2cm之间,且所述支撑板(413)后端面为光滑状。

10.根据权利要求4所述一种支撑烘烤晶舟,其特征在于:所述曲板(4121)底端面左端开设有相对应于所述固定柱(4123)的椭圆形孔,且椭圆形孔内侧长度为所述固定柱(4123)外径的三倍。

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