[实用新型]一种支撑烘烤晶舟有效
申请号: | 202021572654.9 | 申请日: | 2020-07-31 |
公开(公告)号: | CN212625519U | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 吴永利 | 申请(专利权)人: | 芯米(厦门)半导体设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 | 代理人: | 吴圳添 |
地址: | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 支撑 烘烤 | ||
1.一种支撑烘烤晶舟,包括侧板(1)和晶舟主体(2),所述侧板(1)为两个,两个所述侧板(1)对称设置于所述晶舟主体(2)左右两端端部,且两个所述侧板(1)左右对立面开设有放置槽(3);
其特征在于:还包括支撑机构(4),所述支撑机构(4)设置于所述晶舟主体(2)后端,所述支撑机构(4)包括外壳(41)、转杆(42)、棘轮(43)、齿轮(44)、转筒(45)、卡板(46)、推板(47)、齿条(48)、U型板(49)、夹板(410)、弹簧(411)、传动机构(412)和支撑板(413),所述外壳(41)安装于所述晶舟主体(2)后端面左右两端,所述转杆(42)穿过所述外壳(41)后紧固于所述棘轮(43)内圈,所述齿轮(44)焊接于所述棘轮(43)底端面,且所述齿轮(44)与所述齿条(48)侧端面相互啮合,所述转筒(45)活动嵌套于所述转杆(42)外侧前端,且所述转筒(45)贯穿于所述外壳(41)中部,所述卡板(46)通过卷弹簧铰接于所述外壳(41)内侧左后端,且所述卡板(46)外侧右端活动伸入于所述棘轮(43)侧表面,所述推板(47)紧固于所述转筒(45)左端底部,且所述推板(47)贴合于所述卡板(46)前端面左端,所述齿条(48)滑动安装于所述外壳(41)内侧右端,且所述齿条(48)穿过所述外壳(41)后锁固于所述U型板(49)中部,所述夹板(410)铰接于所述U型板(49)内侧,所述弹簧(411)两端分别固定连接于所述夹板(410)右端面后端和所述U型板(49)内侧右端面,所述支撑板(413)通过所述传动机构(412)于所述外壳(41)右端转动。
2.根据权利要求1所述一种支撑烘烤晶舟,其特征在于:所述传动机构(412)包括曲板(4121)、凹槽(4122)、固定柱(4123)、滑动杆(4124)和螺栓(4125),所述曲板(4121)铰接于所述外壳(41)右端面前端开设的开口内侧,且所述曲板(4121)活动伸入于所述凹槽(4122)内侧,所述凹槽(4122)开设于所述齿条(48)右端面中部,所述固定柱(4123)紧固于所述凹槽(4122)内侧底端面,且所述固定柱(4123)活动伸入于所述曲板(4121)底端面左端开设的透孔内侧。
3.根据权利要求2所述一种支撑烘烤晶舟,其特征在于:所述滑动杆(4124)贯穿于所述曲板(4121)右端面开设的插槽内侧,且所述滑动杆(4124)贴合于所述支撑板(413)前端面。
4.根据权利要求3所述一种支撑烘烤晶舟,其特征在于:所述螺栓(4125)穿过曲板(4121)顶端面右端后与所述滑动杆(4124)顶端面开设的螺孔内侧螺纹连接。
5.根据权利要求1所述一种支撑烘烤晶舟,其特征在于:所述外壳(41)后端面中部开设有连接槽,且所述连接槽内侧左右两端开设有连接螺孔。
6.根据权利要求1所述一种支撑烘烤晶舟,其特征在于:所述外壳(41)右端面后端开设有方形槽,且所述方形槽内侧长度相对应所述支撑板(413)宽度。
7.根据权利要求1所述一种支撑烘烤晶舟,其特征在于:所述转杆(42)外侧T字外形,且所述转杆(42)外侧后端设置有防滑纹。
8.根据权利要求1所述一种支撑烘烤晶舟,其特征在于:所述卡板(46)前端面与所述外壳(41)内侧后端面呈45°夹角,且所述卡板(46)呈由左至右渐缩的锥形状。
9.根据权利要求1所述一种支撑烘烤晶舟,其特征在于:所述支撑板(413)厚度为0.15cm至2cm之间,且所述支撑板(413)后端面为光滑状。
10.根据权利要求4所述一种支撑烘烤晶舟,其特征在于:所述曲板(4121)底端面左端开设有相对应于所述固定柱(4123)的椭圆形孔,且椭圆形孔内侧长度为所述固定柱(4123)外径的三倍。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造