[实用新型]一种芯片载具有效
申请号: | 202021577040.X | 申请日: | 2020-07-31 |
公开(公告)号: | CN212342588U | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
发明(设计)人: | 顾凯 | 申请(专利权)人: | 中兴光电子技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 黄广龙 |
地址: | 210012 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 | ||
本申请提供一种芯片载具,包括载物板以及底板:载物板用于吸附芯片,载物板设有可放置芯片的通孔;底板设有与通孔相适配的凸台,凸台在穿过通孔的状态下将芯片与载物板分离。本实用新型通过设置带有凸台的底板以及通孔,底板上的凸台从通孔的下方穿过通孔,将位于通孔上的芯片顶起,使得芯片与载物板分离,从而便于真空吸笔吸取芯片。
技术领域
本申请实施例涉及芯片存储技术领域,尤其涉及一种芯片载具。
背景技术
现有的半导体芯片在储存或运输过程中需要进行保护处理,由于芯片的体积较小,容易在运输过程中晃动,因此,首选的是一种芯片载具,在芯片载具上设置带有一定粘性的吸附衬底,采用芯片与吸附衬底相粘的方式盛放芯片,进一步防止芯片晃动。然而,由于吸附衬底具有一定的粘性,在取用芯片时,难以通过真空吸笔直接吸取芯片,而通过其他夹具夹取芯片时,会造成芯片表面的损伤,影响芯片的特性。
实用新型内容
本申请的主要目的在于提出一种芯片载具,可以在便于用真空吸笔在芯片载具中吸取芯片,避免芯片损坏。
以下是对本文详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。
根据本申请的第一方面,提供了一种芯片载具,包括:
载物板以及底板:所述载物板用于吸附芯片,所述载物板设有可放置所述芯片的通孔;
所述底板设有与所述通孔相适配的凸台,所述凸台在穿过所述通孔的状态下将所述芯片与所述载物板分离。
采用本申请的芯片载具,底板上的凸台从通孔的下方穿过通孔,将位于通孔上的芯片顶起,使得芯片与载物板分离,从而便于真空吸笔吸取芯片。
本申请的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本申请而了解。本申请的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
附图用来提供对本申请技术方案的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本申请的实施例一起用于解释本申请的技术方案,并不构成对本申请技术方案的限制。
图1是本申请实施例中芯片载具的一具体实施例的立体图;
图2是本申请实施例中芯片载具的载物板一具体实施例的立体图;
图3是本申请实施例中芯片载具的吸取芯片时一具体实施例的立体图;
图4是本申请实施例中芯片载具的吸取芯片时一具体实施例的立体图;
图5是本申请实施例中芯片载具的一具体实施例的立体图。
附图标记:
100-载物板,110-通孔,120-第一层,130-第二层,121-第一孔,131-第二孔,200-底板,210-凸台,300-芯片,400-盒体,500-真空吸笔。
具体实施方式
为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本申请进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本申请,并不用于限定本申请。不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。
说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象,而不必用于描述特定的顺序或先后次序。需要理解的是,如果涉及到方位描述,例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造