[实用新型]一种晶圆加工用自动卸料研磨装置

权利要求书

1.一种晶圆加工用自动卸料研磨装置，包括传送带主体(11)，其特征在于：所述传送带主体(11)的上方中部设置有研磨主体(2)，所述传送带主体(11)的外表面等距离的安装有橡胶工位(18)，所述传送带主体(11)的中部下方安装有安装座(10)，所述安装座(10)的内部转动安装有驱动轴(8)，所述驱动轴(8)靠近两端的位置分别设置为正向蜗杆(81)与反向蜗杆(82)，所述正向蜗杆(81)与反向蜗杆(82)的侧面均啮合有蜗轮(16)，所述蜗轮(16)的中部固定有凸轮轴(9)，所述凸轮轴(9)的上端穿过安装座(10)的上表面，且凸轮轴(9)的上端固定有凸轮(7)，两个所述凸轮(7)对称设置，所述安装座(10)的上表面两侧靠近传送带主体(11)的位置安装有支撑板(17)，所述支撑板(17)上插入有伸缩杆(13)，所述伸缩杆(13)靠近传送带主体(11)中心的一端固定有弧形压板(14)，且伸缩杆(13)远离传送带主体(11)中心的一端套设有弹簧(5)，所述伸缩杆(13)靠近弹簧(5)的一端固定有限位板(15)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用自动卸料研磨装置，其特征在于：所述安装座(10)的前表面安装有压紧电机(19)，且压紧电机(19)的动力输出端与驱动轴(8)的前端相固定。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用自动卸料研磨装置，其特征在于：所述研磨主体(2)包括液压缸(21)、安装在液压缸(21)活塞杆下端的研磨电机(22)以及固定在研磨电机(22)动力输出端下端的研磨盘(23)，液压缸(21)的上表面固定有安装架(1)，且安装架(1)通过支架与安装座(10)的上表面两端相固定。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用自动卸料研磨装置，其特征在于：所述传送带主体(11)的两端插入有传送带辊(6)，传送带辊(6)的两端均安装有传送带架(12)，且传送带辊(6)通过轴承与传送带架(12)转动连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆加工用自动卸料研磨装置，其特征在于：所述传送带架(12)的一侧安装有传动电机(3)，且传动电机(3)的动力输出端与传送带辊(6)的一端通过间歇驱动装置(4)连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用自动卸料研磨装置，其特征在于：所述弹簧(5)的一端与限位板(15)相固定，且弹簧(5)的另一端与支撑板(17)相固定。