[实用新型]一种晶圆加工用自动卸料研磨装置

说明书

本实用新型公开了一种晶圆加工用自动卸料研磨装置，包括传送带主体，所述传送带主体的上方中部设置有研磨主体，所述传送带主体的外表面等距离的安装有橡胶工位，所述传送带主体的中部下方安装有安装座，所述安装座的内部转动安装有驱动轴，所述驱动轴靠近两端的位置分别设置为正向蜗杆与反向蜗杆，所述正向蜗杆与反向蜗杆的侧面均啮合有蜗轮，所述蜗轮的中部固定有凸轮轴，所述凸轮轴的上端穿过安装座的上表面，且凸轮轴的上端固定有凸轮，述伸缩杆靠近传送带主体中心的一端固定有弧形压板，本实用新型的两个弧形压板能够将晶圆挤压住，在挤压过程中两个弧形压板的运动具有同时性，所以可保证晶圆的位置不会有偏差。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体是一种晶圆加工用自动卸料研磨装置。

背景技术

为了便于晶圆在研磨后的卸料，申请号为2018210222693.4 的专利中提出了一种晶圆加工用自动卸料研磨装置，其采用液压缸将晶圆夹紧，长期使用，两侧的液压缸会产生伸缩偏差，导致晶圆偏歪，导致研磨位置不精准。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆加工用自动卸料研磨装置，以解决现有技术中采用液压缸将晶圆夹紧，长期使用，两侧的液压缸会产生伸缩偏差，导致晶圆偏歪，导致研磨位置不精准的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆加工用自动卸料研磨装置，包括传送带主体，所述传送带主体的上方中部设置有研磨主体，所述传送带主体的外表面等距离的安装有橡胶工位，所述传送带主体的中部下方安装有安装座，所述安装座的内部转动安装有驱动轴，所述驱动轴靠近两端的位置分别设置为正向蜗杆与反向蜗杆，所述正向蜗杆与反向蜗杆的侧面均啮合有蜗轮，所述蜗轮的中部固定有凸轮轴，所述凸轮轴的上端穿过安装座的上表面，且凸轮轴的上端固定有凸轮，两个所述凸轮对称设置，所述安装座的上表面两侧靠近传送带主体的位置安装有支撑板，所述支撑板上插入有伸缩杆，所述伸缩杆靠近传送带主体中心的一端固定有弧形压板，且伸缩杆远离传送带主体中心的一端套设有弹簧，所述伸缩杆靠近弹簧的一端固定有限位板。

优选的，所述安装座的前表面安装有压紧电机，且压紧电机的动力输出端与驱动轴的前端相固定。

优选的，所述研磨主体包括液压缸、安装在液压缸活塞杆下端的研磨电机以及固定在研磨电机动力输出端下端的研磨盘，液压缸的上表面固定有安装架，且安装架通过支架与安装座的上表面两端相固定。

优选的，所述传送带主体的两端插入有传送带辊，传送带辊的两端均安装有传送带架，且传送带辊通过轴承与传送带架转动连接。

优选的，所述传送带架的一侧安装有传动电机，且传动电机的动力输出端与传送带辊的一端通过间歇驱动装置连接。

优选的，所述弹簧的一端与限位板相固定，且弹簧的另一端与支撑板相固定。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型的正向蜗杆与反向蜗杆转动可带动两个蜗轮向着相反的方向转动，进而可使得两个凸轮能够时刻对称，在凸轮由圆端靠近限位板转动到尖端对准限位板的过程中，弹簧处于被压缩状态，两个伸缩杆相互靠近，进而两个弧形压板可同时相互靠近，以保证两个弧形压板能够将晶圆挤压住，在挤压过程中两个凸轮的运动具有同时性，所以可保证晶圆的位置不会有偏差。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型的分解图；

图2为本实用新型传送带主体的结构示意图；

图3为本实用新型驱动轴的结构示意图；

图4为本实用新型弧形压板的安装示意图。