[实用新型]一种MEMS芯片封装基板有效
申请号: | 202021582788.9 | 申请日: | 2020-08-03 |
公开(公告)号: | CN212924401U | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 岳长来 | 申请(专利权)人: | 深圳和美精艺半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | B81B7/00 | 分类号: | B81B7/00;B81B7/02 |
代理公司: | 深圳市海盛达知识产权代理事务所(普通合伙) 44540 | 代理人: | 赵雪佳 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 mems 芯片 封装 | ||
本实用新型公开了一种MEMS芯片封装基板,包括板体和防护机构,所述板体的四角内部开设有固定孔,且板体的上端中心位置设置有芯片固定基,所述芯片固定基的内侧固定有导热硅层,且芯片固定基的外侧四边分布有通电接片,所述防护机构安置于芯片固定基上方,且芯片固定基的外侧四角开设有紧固孔。该MEMS芯片封装基板设置有导热硅层,导热硅层与芯片固定基之间为紧密贴合,设置在芯片固定基内侧与防护盖板内侧的导热硅层,具有很好的导热散热效果,有效提升MEMS芯片实际使用的效果和实际使用寿命,避免出现在使用过程中MEMS芯片温度过高导致无法正常使用的情况,保证MEMS芯片工作的有效性和持续性,紧密贴合可以保证导热硅层的导热效果。
技术领域
本实用新型涉及芯片封装基板技术领域,具体为一种MEMS芯片封装基板。
背景技术
MEMS芯片最初大量用于汽车安全气囊,随着MEMS芯片技术的进一步发展,以及应用终端轻,薄,短,小的特点,对小体积高性能的MEMS产品需求增势迅猛,消费电子,医疗等领域也大量出现了MEMS芯片产品的身影,基板可为芯片提供电连接、保护、支撑、散热、组装等功效,以实现多引脚化,缩小封装产品体积、改善电性能及散热性、超高密度或多芯片模块化的目的对于MEMS芯片的安装需要用到MEMS芯片封装基板。
市场上的MEMS芯片封装基板在散热方面不够理想,MEMS芯片长时间使用会影响其实际使用寿命,同时没有对MEMS芯片防护的结构,在使用过程中容易出现损坏的问题,为此,我们提出这样一种MEMS芯片封装基板。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种MEMS芯片封装基板,以解决上述背景技术中提出的MEMS芯片封装基板在散热方面不够理想,MEMS芯片长时间使用会影响其实际使用寿命,同时没有对MEMS芯片防护的结构,在使用过程中容易出现损坏的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种MEMS芯片封装基板,包括板体和防护机构,所述板体的四角内部开设有固定孔,且板体的上端中心位置设置有芯片固定基,所述芯片固定基的内侧固定有导热硅层,且芯片固定基的外侧四边分布有通电接片,所述防护机构安置于芯片固定基上方,且芯片固定基的外侧四角开设有紧固孔,所述紧固孔的外侧设置有绝缘层。
优选的,所述导热硅层与芯片固定基之间为紧密贴合,且芯片固定基内侧与防护盖板内侧均设置有导热硅层。
优选的,所述绝缘层均匀分布在紧固孔外侧,且绝缘层的外表面与紧固孔的外表面相互贴合。
优选的,所述防护机构包括有防护盖板、耐磨层、紧固螺栓和微型弹簧,且防护盖板的上端分布有耐磨层,所述防护盖板的四角内部穿设有紧固螺栓,且紧固螺栓的下端外侧设置有微型弹簧。
优选的,所述紧固螺栓贯穿于防护盖板四角内部,且防护盖板通过紧固螺栓与板体之间构成螺纹连接。
优选的,所述微型弹簧均匀分布在紧固螺栓下端外侧,且防护盖板通过微型弹簧与板体之间构成弹性结构。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该MEMS芯片封装基板设置有导热硅层,导热硅层与芯片固定基之间为紧密贴合,设置在芯片固定基内侧与防护盖板内侧的导热硅层,具有很好的导热散热效果,有效提升MEMS芯片实际使用的效果和实际使用寿命,避免出现在使用过程中MEMS芯片温度过高导致无法正常使用的情况,保证MEMS芯片工作的有效性和持续性,紧密贴合可以保证导热硅层的导热效果;
绝缘层均匀分布在紧固孔外侧,均匀分布在紧固孔外侧的绝缘层,有效提升该MEMS芯片封装基板的实际使用安全性,将防护盖板通过紧固螺栓固定在芯片固定基上方,不会出现紧固螺栓导电使得防护盖板带电的情况,同时相互贴合可以保证绝缘层的使用的有效性;
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