[实用新型]一种半导体加工用抛光装置

说明书

本实用新型涉及半导体抛光附属装置的技术领域，特别是涉及一种半导体加工用抛光装置，其半导体原材板可以方便进行稳定放置，无需时刻手扶，使用方便；包括工作台和手持抛光机，工作台顶端设置有支撑座，手持抛光机放置在支撑座处；还包括放置台、两组丝杠、两组夹板、两组限位柱、两组转轴和两组转动板，放置台顶端左右两侧均连接有侧板，两组第一轴承座内部均可转动固定有第一滚珠轴承，两组丝杠外端均连接有手轮，两组第一通槽内侧壁均可转动固定有第一滚珠组，两组第二轴承座内部均可转动固定有第二滚珠轴承，还包括两组拉板和两组拉杆，两组第二通槽内侧壁均可转动固定有第二滚珠组，两组拉板外侧均设置有拉环。

技术领域

本实用新型涉及半导体抛光附属装置的技术领域，特别是涉及一种半导体加工用抛光装置。

背景技术

众所周知，半导体加工用抛光装置是一种用于半导体生产加工过程中，对半导体原材板进行辅助抛光，使其更好进行后续使用的辅助装置，其在半导体抛光的领域中得到了广泛的使用；现有的半导体加工用抛光装置包括工作台和手持抛光机，工作台顶端设置有支撑座，手持抛光机放置在支撑座处；现有的半导体加工用抛光装置使用时，将半导体原材板放置在工作台并手持使其立住，将合适的抛光头安装在手持抛光机上手持对其进行抛光即可，抛光机为市面常见电器件，且标配多组不同型号的抛光头，买回使用时仅需按照一同购回的使用说明书电连接即可进行使用，连接导线只要能够进行工作的合理布线均可，故在此不再赘述；现有的半导体加工用抛光装置使用中发现，半导体原材板不能方便进行稳定放置，需时刻手扶，使用不便。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种半导体加工用抛光装置，其半导体原材板可以方便进行稳定放置，无需时刻手扶，使用方便。

本实用新型的一种半导体加工用抛光装置，包括工作台和手持抛光机，工作台顶端设置有支撑座，手持抛光机放置在支撑座处；还包括放置台、两组丝杠、两组夹板、两组限位柱、两组转轴和两组转动板，放置台顶端左右两侧均连接有侧板，两组夹板外侧均设置有第一轴承座，并在两组第一轴承座内部均可转动固定有第一滚珠轴承，两组丝杠内端分别螺穿过两组侧板并均伸出至两组侧板内部分别与两组第一滚珠轴承过盈配合，两组丝杠外端均连接有手轮，两组限位柱分别安装在两组夹板上，两组侧板上横向均设置有第一通槽，并在两组第一通槽内侧壁均可转动固定有第一滚珠组，两组限位柱外端分别穿过两组第一滚珠组并分别伸出至两组侧板外侧，两组夹板内侧均设置有第二轴承座，并在两组第二轴承座内部均可转动固定有第二滚珠轴承，两组转轴外端分别与两组第二滚珠轴承过盈配合，两组转轴内端分别与两组转动板外侧中心连接，还包括两组拉板和两组拉杆，两组拉杆一端分别与两组拉板连接，两组夹板上横向均设置有第二通槽，并在两组第二通槽内侧壁均可转动固定有第二滚珠组，两组拉杆另一端分别穿过两组第二滚珠组并分别伸入至两组夹板的内侧，两组拉板外侧均设置有拉环，两组转动板外侧均设置有卡槽，两组拉杆另一端分别插入至位于左侧的两组卡槽中的其中一组卡槽内部和位于右侧的两组卡槽中的其中一组卡槽内部。

优选的，两组拉杆外侧均固定套装有卡板，位于左侧的卡板与位于左侧的夹板之间以及位于右侧的卡板与位于右侧的夹板之间均连接有第一套簧组和第一可伸缩管组，两组第一套簧组分别套装在两组第一可伸缩管组外侧，两组限位柱外侧均连接有钢丝绳，两组钢丝绳上均连接有挂钩，两组挂钩分别钩挂在两组拉环处。

优选的，放置台顶端连接有插槽，两组转动板内侧前后两端均连接有固定板，还包括六组夹片、六组第二套簧组和六组第二可伸缩管组，六组第二套簧组和六组第二可伸缩管组的一端均分别与插槽内前后两侧以及四组固定板内侧连接，六组第二套簧组和六组第二可伸缩管组的另一端均分别与六组夹片连接，六组第二套簧组分别套装在六组第二可伸缩管组外侧。

优选的，工作台顶端左右两侧分别连接有支撑块和支撑台，还包括往复电机、移动块和螺纹柱，往复电机安装在支撑台顶端，螺纹柱右端与往复电机左侧输出端连接，支撑块右侧设置有第三轴承座，并在第三轴承座内部可转动固定有第三滚珠轴承，螺纹柱左端螺穿过移动块右侧并伸出至移动块左侧与第三滚珠轴承过盈配合，放置台安装在移动块顶端。