[实用新型]一种新型高效化学气相沉积炉

权利要求书

1.一种新型高效化学气相沉积炉，包括固定板(1)，其特征在于：所述固定板(1)的内部套设有外壳(2)，所述外壳(2)顶端的外表面连通有进料口(3)，所述外壳(2)顶端远离进料口(3)的一侧连通有排气口(4)，所述外壳(2)的底面开设有出料口(5)，所述外壳(2)的底部设置有收料箱(6)，所述外壳(2)的底部设置有下料机构(7)，所述下料机构(7)包括沉积盒(701)，所述沉积盒(701)与外壳(2)的内壁固定连接，所述沉积盒(701)的下表面开设有下料口(702),所述下料口(702)的外表面对称滑动连接有隔板(703)，两组所述隔板(703)与外壳(2)的内壁之间固定安装有复位弹簧(704)，所述隔板(703)远离下料口(702)的一端固定安装有弹性带(705)，所述弹性带(705)滑动贯穿外壳(2)的内部并延伸至外壳(2)的外部，所述外壳(2)的外表面对称固定安装有连接轴(706)，所述外壳(2)的内部设置有清理机构(8)，所述外壳(2)内壁远离收料箱(6)的一端固定安装有沉积板(9)。

2.根据权利要求1所述一种新型高效化学气相沉积炉，其特征在于：所述固定板(1)的下表面固定安装有支撑柱，支撑柱的数量为四组，两组支撑柱之间固定安装有固定杆(707)，所述连接轴(706)和固定杆(707)的外表面均滑动连接有弹性带(705)，所述弹性带(705)靠近固定杆(707)的一端固定安装有底板(708)。

3.根据权利要求1所述一种新型高效化学气相沉积炉，其特征在于：所述外壳(2)的内部对称开设有连接槽，所述弹性带(705)与连接槽的内壁滑动连接。

4.根据权利要求1所述一种新型高效化学气相沉积炉，其特征在于：所述沉积盒(701)的形状为圆锥形，所述下料口(702)与出料口(5)的尺寸大小相同。

5.根据权利要求1所述一种新型高效化学气相沉积炉，其特征在于：所述清理机构(8)包括套杆(801)，所述套杆(801)滑动贯穿沉积板(9)并延伸至外壳(2)的内部，所述套杆(801)的内部转动连接有螺纹杆(802)，所述螺纹杆(802)远离套杆(801)的一端固定安装有摇柄(803)，所述套杆(801)远离摇柄(803)的一端开设有矩形槽(804),所述矩形槽(804)的内壁之间对称转动连接有毛刷(805)。

6.根据权利要求5所述一种新型高效化学气相沉积炉，其特征在于：两组所述毛刷(805)靠近矩形槽(804)的一端铰接，所述螺纹杆(802)远离摇柄(803)的一端与毛刷(805)固定连接。