[实用新型]一种新型高效化学气相沉积炉有效
申请号: | 202021592517.1 | 申请日: | 2020-08-04 |
公开(公告)号: | CN213113502U | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 满卫东;龚闯;朱长征;吴剑波;蒋梅荣 | 申请(专利权)人: | 上海征世科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 周琼 |
地址: | 201799 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 高效 化学 沉积 | ||
本实用新型提供一种新型高效化学气相沉积炉,涉及化学生产制备领域,包括固定板,所述固定板的内部套设有外壳,所述外壳顶端的外表面连通有进料口,所述外壳顶端远离进料口的一侧连通有排气口,所述外壳的底面开设有出料口,所述外壳的底部设置有收料箱,所述外壳的底部设置有下料机构,所述下料机构包括沉积盒,所述沉积盒与外壳的内壁固定连接,所述沉积盒的下表面开设有下料口,所述外壳的内部设置有清理机构,所述外壳内壁远离收料箱的一端固定安装有沉积板。本实用新型,通过设置该结构,可以不用操作人员直接从反应炉中取料,避免了在取料过程中产品洒出,造成浪费,同时也节省了人力。
技术领域
本实用新型涉及化学生产制备领域,尤其涉及一种新型高效化学气相沉积炉。
背景技术
随着社会的进步与发展,人们在化学产品生产制备领域已经有了长足的进步,而大多数化学产品的制备往往采用的是化学气相沉积法,因此化学气相沉积炉就尤为重要。
对于传统的化学气相沉积炉来说,在炉内经过一系列反应沉积之后,反应后得到的产品会收集到沉积盒内,而由于传统化学气相沉积炉缺少对应的下料机构,往往需要人工将沉积盒从反应炉中取出,不仅操作不便,而且在取料的过程中还容易将产品洒出,造成浪费。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种新型高效化学气相沉积炉,解决了上述背景技术提出的问题。
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种新型高效化学气相沉积炉,为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案给予实现:一种新型高效化学气相沉积炉,包括固定板,所述固定板的内部套设有外壳,所述外壳顶端的外表面连通有进料口,所述外壳顶端远离进料口的一侧连通有排气口,所述外壳的底面开设有出料口,所述外壳的底部设置有收料箱,所述外壳的底部设置有下料机构,所述下料机构包括沉积盒,所述沉积盒与外壳的内壁固定连接,所述沉积盒的下表面开设有下料口,所述下料口的外表面对称滑动连接有隔板,两组所述隔板与外壳的内壁之间固定安装有复位弹簧,所述隔板远离下料口的一端固定安装有弹性带,所述弹性带滑动贯穿外壳的内部并延伸至外壳的外部,所述外壳的外表面对称固定安装有连接轴,所述外壳的内部设置有清理机构,所述外壳内壁远离收料箱的一端固定安装有沉积板。
优选的,所述固定板的下表面固定安装有支撑柱,支撑柱的数量为四组,两组支撑柱之间固定安装有固定杆,所述连接轴和固定杆的外表面均滑动连接有弹性带,所述弹性带靠近固定杆的一端固定安装有底板。
优选的,所述外壳的内部对称开设有连接槽,所述弹性带与连接槽的内壁滑动连接。
优选的,所述沉积盒的形状为圆锥形,所述下料口与出料口的尺寸大小相同。
优选的,所述清理机构包括套杆,所述套杆滑动贯穿沉积板并延伸至外壳的内部,所述套杆的内部转动连接有螺纹杆,所述螺纹杆远离套杆的一端固定安装有摇柄,所述套杆远离摇柄的一端开设有矩形槽,所述矩形槽的内壁之间对称转动连接有毛刷。
优选的,两组所述毛刷靠近矩形槽的一端铰接,所述螺纹杆远离摇柄的一端与毛刷固定连接。
与现有技术相比,本实用新型的优点和积极效果在于,
1、本实用新型中,操作人员先通过进料口将反应所需的远离放入沉积板中,待反应完成之后,得到的产品会沉入沉积盒内,此时,操作人员将收集箱放在底板上,由于收集箱自身的重力作用,会压着底板向下运动,此时底板会带着弹性带向下运动,紧接着弹性带会带动着两块隔板分开,并且压缩复位弹簧,此时复位弹簧处于压缩状态,同时露出下料口,然后产品会从下料口出来经过出料口落入到收集箱中,此时收集箱整体的重力会增加,因此下料口会打开的越来越大,直至产品全部收集完毕,然后移走收集箱,整个机构会在复位弹簧的作用下恢复原状,通过设置该结构,可以不用操作人员直接从反应炉中取料,避免了在取料过程中产品洒出,造成浪费,同时也节省了人力。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海征世科技有限公司,未经上海征世科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021592517.1/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种用于室内农业换气散热的防虫排扇装置
- 下一篇:一种喷雾泵
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的