[实用新型]一种新型高效化学气相沉积炉有效

专利信息
申请号: 202021592517.1 申请日: 2020-08-04
公开(公告)号: CN213113502U 公开(公告)日: 2021-05-04
发明(设计)人: 满卫东;龚闯;朱长征;吴剑波;蒋梅荣 申请(专利权)人: 上海征世科技有限公司
主分类号: C23C16/44 分类号: C23C16/44
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人: 周琼
地址: 201799 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 高效 化学 沉积
【说明书】:

实用新型提供一种新型高效化学气相沉积炉,涉及化学生产制备领域,包括固定板,所述固定板的内部套设有外壳,所述外壳顶端的外表面连通有进料口,所述外壳顶端远离进料口的一侧连通有排气口,所述外壳的底面开设有出料口,所述外壳的底部设置有收料箱,所述外壳的底部设置有下料机构,所述下料机构包括沉积盒,所述沉积盒与外壳的内壁固定连接,所述沉积盒的下表面开设有下料口,所述外壳的内部设置有清理机构,所述外壳内壁远离收料箱的一端固定安装有沉积板。本实用新型,通过设置该结构,可以不用操作人员直接从反应炉中取料,避免了在取料过程中产品洒出,造成浪费,同时也节省了人力。

技术领域

本实用新型涉及化学生产制备领域,尤其涉及一种新型高效化学气相沉积炉。

背景技术

随着社会的进步与发展,人们在化学产品生产制备领域已经有了长足的进步,而大多数化学产品的制备往往采用的是化学气相沉积法,因此化学气相沉积炉就尤为重要。

对于传统的化学气相沉积炉来说,在炉内经过一系列反应沉积之后,反应后得到的产品会收集到沉积盒内,而由于传统化学气相沉积炉缺少对应的下料机构,往往需要人工将沉积盒从反应炉中取出,不仅操作不便,而且在取料的过程中还容易将产品洒出,造成浪费。

实用新型内容

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种新型高效化学气相沉积炉,解决了上述背景技术提出的问题。

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种新型高效化学气相沉积炉,为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案给予实现:一种新型高效化学气相沉积炉,包括固定板,所述固定板的内部套设有外壳,所述外壳顶端的外表面连通有进料口,所述外壳顶端远离进料口的一侧连通有排气口,所述外壳的底面开设有出料口,所述外壳的底部设置有收料箱,所述外壳的底部设置有下料机构,所述下料机构包括沉积盒,所述沉积盒与外壳的内壁固定连接,所述沉积盒的下表面开设有下料口,所述下料口的外表面对称滑动连接有隔板,两组所述隔板与外壳的内壁之间固定安装有复位弹簧,所述隔板远离下料口的一端固定安装有弹性带,所述弹性带滑动贯穿外壳的内部并延伸至外壳的外部,所述外壳的外表面对称固定安装有连接轴,所述外壳的内部设置有清理机构,所述外壳内壁远离收料箱的一端固定安装有沉积板。

优选的,所述固定板的下表面固定安装有支撑柱,支撑柱的数量为四组,两组支撑柱之间固定安装有固定杆,所述连接轴和固定杆的外表面均滑动连接有弹性带,所述弹性带靠近固定杆的一端固定安装有底板。

优选的,所述外壳的内部对称开设有连接槽,所述弹性带与连接槽的内壁滑动连接。

优选的,所述沉积盒的形状为圆锥形,所述下料口与出料口的尺寸大小相同。

优选的,所述清理机构包括套杆,所述套杆滑动贯穿沉积板并延伸至外壳的内部,所述套杆的内部转动连接有螺纹杆,所述螺纹杆远离套杆的一端固定安装有摇柄,所述套杆远离摇柄的一端开设有矩形槽,所述矩形槽的内壁之间对称转动连接有毛刷。

优选的,两组所述毛刷靠近矩形槽的一端铰接,所述螺纹杆远离摇柄的一端与毛刷固定连接。

与现有技术相比,本实用新型的优点和积极效果在于,

1、本实用新型中,操作人员先通过进料口将反应所需的远离放入沉积板中,待反应完成之后,得到的产品会沉入沉积盒内,此时,操作人员将收集箱放在底板上,由于收集箱自身的重力作用,会压着底板向下运动,此时底板会带着弹性带向下运动,紧接着弹性带会带动着两块隔板分开,并且压缩复位弹簧,此时复位弹簧处于压缩状态,同时露出下料口,然后产品会从下料口出来经过出料口落入到收集箱中,此时收集箱整体的重力会增加,因此下料口会打开的越来越大,直至产品全部收集完毕,然后移走收集箱,整个机构会在复位弹簧的作用下恢复原状,通过设置该结构,可以不用操作人员直接从反应炉中取料,避免了在取料过程中产品洒出,造成浪费,同时也节省了人力。

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