[实用新型]一种多轨道硅片缓存机构

权利要求书

1.一种多轨道硅片缓存机构，其特征在于，所述的机构包括硅片储存装置、用于驱动所述的硅片储存装置上下移动的驱动组件，所述的硅片储存装置包括安装框架、多个沿左右方向排列设置在安装框架上的硅片安装架。

2.如权利要求1所述的机构，其特征在于，所述的硅片安装架包括沿上下方向延伸设置的连接杆、沿上下方向排列设置在所述的连接杆上的安装片，相邻的两个安装片之间形成可供硅片插入的间隙。

3.如权利要求2所述的机构，其特征在于，所述的安装框架包括左右排列设置的两个侧安装架、上下排列设置的上安装梁和下安装梁，所述的连接杆的上端通过一上安装部可拆卸的连接在所述的上安装梁上，所述的连接杆的下端通过一下安装部可拆卸的连接在所述的下安装梁上。

4.如权利要求3所述的机构，其特征在于，所述的驱动组件包括左右排列设置的两个直线模组，两个所述的侧安装架分别安装在所述的直线模组上，所述的直线模组能够驱动所述的侧安装架上下移动。

5.如权利要求4所述的机构，其特征在于，所述的驱动组件还包括同步电机和传送带，所述的直线模组分别包括一带轮，所述的同步电机通过传送带同步驱动两个直线模组的带轮转动。

6.如权利要求2所述的机构，其特征在于，所述的硅片安装架包括前后方向排列设置的两个连接杆，两个连接杆上的安装片一一对应设置。

7.如权利要求1所述的机构，其特征在于，相邻的两个硅片安装架之间能够供传送轨道穿过，所述的传送轨道用于传送硅片。