[实用新型]清洗及除静电装置

权利要求书

1.一种清洗及除静电装置，其特征在于，包括：

第一壳体，包括第一容置空间；

传送组件，容置于所述第一容置空间，且所述传送组件具有倾斜于水平面的传送面，所述传送面用于承载基板；以及

喷淋组件，容置于所述第一容置空间，且位于所述传送组件上方，所述喷淋组件用于朝向所述传送面喷射清洗液。

2.如权利要求1所述的清洗及除静电装置，其特征在于，所述传送组件包括支架、转轴和多个滚轮，所述转轴与所述支架转动连接，多个所述滚轮等间距间隔地设于所述转轴上，所述转轴的延伸方向与水平面呈第一夹角。

3.如权利要求2所述的清洗及除静电装置，其特征在于，所述传送组件还包括轴承，所述轴承与所述支架连接，所述转轴与所述轴承连接。

4.如权利要求2所述的清洗及除静电装置，其特征在于，所述传送组件还包括高度调节件，所述支架的底部的一端与所述第一壳体转动连接，所述高度调节件支撑在所述支架的底部的相对的另一端，所述高度调节件用于调节得到支架的一端的高度，以调节所述第一夹角的大小。

5.如权利要求4所述的清洗及除静电装置，其特征在于，所述第一夹角为0-45°。

6.如权利要求2所述的清洗及除静电装置，其特征在于，所述喷淋组件包括喷淋管和多个喷嘴，所述喷淋管相对于水平面倾斜，多个所述喷嘴设置于所述喷淋管上，多个所述喷嘴用于朝向所述传送面喷射清洗液。

7.如权利要求6所述的清洗及除静电装置，其特征在于，所述喷淋管与水平面的夹角为所述第一夹角。

8.如权利要求1所述的清洗及除静电装置，其特征在于，所述第一壳体包括顶盖，所述顶盖呈中间高四周低的结构。

9.如权利要求1至8任一项所述的清洗及除静电装置，其特征在于，所述清洗及除静电装置还包括第二壳体和除静电组件，所述第二壳体包括第二容置空间，所述除静电组件容置于所述第二容置空间，所述传送组件将所述基板输送至所述第二容置空间进行干燥时，所述除静电组件用于除去所述基板的静电。

10.如权利要求9所述的清洗及除静电装置，其特征在于，所述除静电组件包括等离子除静电器和气嘴，所述等离子除静电器用于去除所述基板的静电，所述气嘴用于向所述传送面吹气。