[实用新型]碱性蚀刻液原位电解提铜再生利用装置有效

专利信息
申请号: 202021606095.9 申请日: 2020-08-05
公开(公告)号: CN212770968U 公开(公告)日: 2021-03-23
发明(设计)人: 徐麟;杨代军;黄勇 申请(专利权)人: 上海毅蓝电子科技有限公司
主分类号: C23F1/34 分类号: C23F1/34;C23F1/46;C25C1/12;C25C7/00;C25C7/06
代理公司: 上海新隆知识产权代理事务所(普通合伙) 31366 代理人: 刘兰英
地址: 201821 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 碱性 蚀刻 原位 电解 再生 利用 装置
【权利要求书】:

1.碱性蚀刻液原位电解提铜再生利用装置,其特征在于,包括:

蚀刻机,其采用碱性蚀刻液对覆铜板进行蚀刻形成电路板,所述蚀刻机具有一碱性蚀刻液入口和一存放蚀刻后的碱性蚀刻废液的废液槽;

电解槽,其具有一碱性蚀刻废液入口和一碱性蚀刻电解液出口,所述碱性蚀刻废液入口与所述废液槽之间设置有一循环泵,所述碱性蚀刻电解液出口与所述碱性蚀刻液入口连通;

铜离子浓度传感器,其设置在所述碱性蚀刻废液槽内并检测当前碱性蚀刻废液的铜离子浓度值;

电解整流机,其插入所述电解槽内对所述碱性蚀刻废液进行电解得到铜板和碱性蚀刻电解液,所述电解整流机并与所述铜离子浓度传感器电连接,所述电解整流机根据当前碱性蚀刻废液的铜离子浓度值进行电解电流调整使得提铜电解速度和蚀刻覆铜板的速度相同;

pH传感器,其检测当前碱性蚀刻液的pH值;

氨气补给阀门,其与所述pH传感器电连接;

安培小时传感器,其设置在所述电解整流机上;

烯丙基硫脲补给计量泵,其与所述碱性蚀刻废液槽连通,且所述烯丙基硫脲补给计量泵与所述安培小时传感器电连接并定时开启。

2.碱性蚀刻液原位电解提铜再生利用装置,其特征在于,包括:

蚀刻机,其采用碱性蚀刻液对覆铜板进行蚀刻形成电路板,所述蚀刻机具有一碱性蚀刻液入口和一存放蚀刻后的碱性蚀刻废液的废液槽;

碱性蚀刻废液桶,其具有一第一碱性蚀刻废液进口和一碱性蚀刻废液出口,所述碱性蚀刻废液进口与所述废液槽通过一碱性蚀刻废液泵连通;

碱性蚀刻再生液桶,其具有一第二碱性蚀刻废液进口、一碱性蚀刻电解液进口、一第一碱性蚀刻再生液出口和一第二碱性蚀刻再生液出口,所述第二碱性蚀刻废液进口与所述碱性蚀刻废液出口通过一碱性蚀刻废液补充泵连通,所述第二碱性蚀刻再生液出口通过一碱性蚀刻再生液补充泵与所述碱性蚀刻液入口连通;

电解槽,其具有一碱性蚀刻再生液入口和一碱性蚀刻电解液出口,所述碱性蚀刻再生液入口与所述第一碱性蚀刻再生液出口通过一循环泵连通,所述碱性蚀刻电解液出口与所述碱性蚀刻电解液入口连通;

电解整流机,其插入所述电解槽内其插入所述电解槽内对所述碱性蚀刻废液进行电解得到铜板和碱性蚀刻电解液;

第一pH传感器,其检测当前碱性蚀刻液的pH值;

第一氨气补给阀门,其与所述第一pH传感器电连接;

第二pH传感器,其设置在所述碱性蚀刻再生液桶中并检测当前碱性蚀刻再生液的pH值;

第二氨气补给阀门,其与所述第二pH传感器电连接;

第一铜离子浓度传感器,其设置在所述碱性蚀刻废液槽内并检测当前碱性蚀刻废液的铜离子浓度值,所述第一铜离子浓度传感器与碱性蚀刻再生液补充泵电连接;

第二铜离子浓度传感器,其设置在所述碱性蚀刻再生液桶内并检测当前碱性蚀刻再生液的铜离子浓度值,所述第二铜离子浓度传感器与碱性蚀刻废液补充泵电连接;

安培小时传感器,其设置在所述电解整流机上;

烯丙基硫脲补给计量泵,其与所述碱性蚀刻废液槽连通,且所述烯丙基硫脲补给计量泵与所述安培小时传感器电连接并定时开启。

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