[实用新型]碱性蚀刻液原位电解提铜再生利用装置有效
申请号: | 202021606095.9 | 申请日: | 2020-08-05 |
公开(公告)号: | CN212770968U | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 徐麟;杨代军;黄勇 | 申请(专利权)人: | 上海毅蓝电子科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/34 | 分类号: | C23F1/34;C23F1/46;C25C1/12;C25C7/00;C25C7/06 |
代理公司: | 上海新隆知识产权代理事务所(普通合伙) 31366 | 代理人: | 刘兰英 |
地址: | 201821 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 碱性 蚀刻 原位 电解 再生 利用 装置 | ||
本实用新型提供一种碱性蚀刻液原位电解提铜再生利用装置,具备出色的蚀刻稳定性、蚀刻速度、精细度和高铜离子浓度180‑200g/L,节省蚀刻药水用量;具备简单的可控的蚀刻液原位电解循环利用方式,获得平整光亮的高纯度铜板,无电解尾液需要深度环保处理,无需调配缸进行人为干预再生液调配,可直接回到蚀刻机蚀刻线路板生产。
技术领域
本实用新型属于线路板碱性蚀刻领域,尤其涉及到一种碱性蚀刻液原位电解提铜再生利用装置。
背景技术
电路板的线路碱性蚀刻制造过程是采用一种富含氯化铵和氨离子的碱性蚀刻子液对覆铜板上的铜箔进行蚀刻(铜氨络合反应)形成线路,同时产生是一种富含铜氯化铜、氯化铵、氨离子的成分复杂的含铜碱性蚀刻废液。传统的碱性蚀刻工艺用由250-280g/L氯化铵,100-120g/L氨,600-650g/L水组成的碱性蚀刻子液对覆铜板蚀刻形成含140-160g/L铜离子, 250-280g/L氯化铵,100-120g/L氨,440-460g/L水的碱性蚀刻废液。
该含铜碱性蚀刻废液可通过酸性中和沉淀法,置换还原法、蒸馏等化学或物理反应的方法脱除获得含铜碱性蚀刻废液里面的铜,蚀刻液的组分遭到破环,脱铜后的尾液需要进一步环保物理或化学处理,无法进行循环利用,造成很大的环保处置成本和资源浪费。如昆山智祥隆电子有限公司CN201920750262.8,惠州大亚湾亿田环保技术有限公司CN201811002592.5,鲁铭;李晓清;刘琨CN201710665696.3,昆山联鼎环保科技有限公司CN201110385711.1, CN201010269561.3,江德馨、CN201010505221.6,重庆瀚渝再生资源有限公司 CN201721178953.2,深圳市万山红环保实业有限公司CN200720121065.7,广东省博罗县湘澧精细化工有限公司CN201710321291.8等专利中提到了采用酸碱中和处理碱性蚀刻液获得含铜化合物的方法,如获取氢氧化铜、氯化亚铜等。昆山市洁驰环保科技发展有限公司 CN201210023824.1,福建师范大学福清分校CN200910112525.3专利中提到用化学还原或置换方法从碱性蚀刻废液获取铜粉的工艺。中国科学院过程工程研究所CN201310528684.8一种 PCB线路板蚀刻废液的资源化处理及循环利用方法,采用蒸发获得氢氧化铜和氨水、氯化铵。
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