[实用新型]一种新型的晶圆转速测量装置有效
| 申请号： | 202021621203.X | 申请日： | 2020-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN213517184U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 陈雪琪;黄嘉劲 | 申请（专利权）人： | 黄嘉劲 |
| 主分类号： | G01P3/00 | 分类号： | G01P3/00;G01P3/36 |
| 代理公司： | 广州中粤知识产权代理事务所(普通合伙) 44752 | 代理人： | 杨毅宇 |
| 地址： | 510000 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 转速 测量 装置 | ||
1.一种新型的晶圆转速测量装置，其特征在于：包括支撑座(1)和从动轮(8)，所述支撑座(1)下端安装有电机(3)，电机(3)的活动端安装有主动轮(4)，主动轮(4)驱动晶圆(2)旋转，所述主动轮(4)上方设置有连杆(6)，所述连杆(6)一端安装有非接触式转速仪(7)，连杆(6)另一端通过阻尼转轴(5)与支撑座(1)转动连接，所述从动轮(8)与一侧的晶圆(2)接触配合，从动轮(8)安装有与非接触式转速仪(7)配合的反光片(81)，所述支撑座(1)安装有环绕晶圆(2)分布的多个测速组件(9)。
2.根据权利要求1所述的一种新型的晶圆转速测量装置，其特征在于：所述测速组件(9)包括支架(91)、接触式转速仪(92)、联轴器(93)、测速辊(94)，支架(91)固定在支撑座(1)上，支架(91)上方安装有接触式转速仪(92)，接触式转速仪(92)的活动端与右侧测速辊(94)通过联轴器(93)连接，测速辊(94)与晶圆(2)接触配合。
3.根据权利要求2所述的一种新型的晶圆转速测量装置，其特征在于：所述测速组件(9)还包括第一限位板(95)和第二限位板(96)，测速辊(94)穿过第一限位板(95)和第二限位板(96)，第一限位板(95)下端以及第二限位板(96)下端固定在支架(91)上，第二限位板(96)与测速辊(94)通过球轴承连接。
4.根据权利要求1所述的一种新型的晶圆转速测量装置，其特征在于：所述从动轮(8)的圆周面加工有磨砂层(82)。
5.根据权利要求1所述的一种新型的晶圆转速测量装置，其特征在于：所述主动轮(4)的圆周面经过磨砂工艺处理。
6.根据权利要求1所述的一种新型的晶圆转速测量装置，其特征在于：所述从动轮(8)、阻尼转轴(5)、非接触式转速仪(7)、反光片(81)至少设置有两组。
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