[实用新型]一种新型的晶圆转速测量装置

说明书

本实用新型涉及一种新型的晶圆转速测量装置，包括支撑座和从动轮，所述支撑座下端安装有电机，电机的活动端安装有主动轮，主动轮驱动晶圆旋转，所述主动轮上方设置有连杆，所述连杆一端安装有非接触式转速仪，连杆另一端通过阻尼转轴与支撑座转动连接，所述从动轮与一侧的晶圆接触配合，从动轮安装有与非接触式转速仪配合的反光片，所述支撑座安装有环绕晶圆分布的多个测速组件，本实用新型设计合理，利用多个测速组件和从动轮进行晶圆测速，对测量到的不同数值进行对比，并求平均值，来完成测速工作。

技术领域

本实用新型涉及一种新型的晶圆转速测量装置，属于晶圆转速侦测设备技术领域。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。

晶圆在加工进行包装前，需要进行清洗处理，保证晶圆的清洁及正常使用，晶圆在清洗时进行旋转运动，同时，需要测量晶圆的转速，来判断是否需要调整晶圆转速以及其他操作，目前的晶圆转速测量装置还存在不足，测量晶圆转速的从动轮容易打滑，降低晶圆转速测量的准确度，影响人们对晶圆操作的判断，因此需要进一步改进。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题克服现有的缺陷，提供一种新型的晶圆转速测量装置，可以有效解决背景技术中的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

一种新型的晶圆转速测量装置，包括支撑座和从动轮，所述支撑座下端安装有电机，电机的活动端安装有主动轮，主动轮驱动晶圆旋转，所述主动轮上方设置有连杆，所述连杆一端安装有非接触式转速仪，连杆另一端通过阻尼转轴与支撑座转动连接，所述从动轮与一侧的晶圆接触配合，从动轮安装有与非接触式转速仪配合的反光片，所述支撑座安装有环绕晶圆分布的多个测速组件。

进一步而言，所述测速组件包括支架、接触式转速仪、联轴器、测速辊，支架固定在支撑座上，支架上方安装有接触式转速仪，接触式转速仪的活动端与右侧测速辊通过联轴器连接，测速辊与晶圆接触配合。

进一步而言，所述测速组件还包括第一限位板和第二限位板，测速辊穿过第一限位板和第二限位板，第一限位板下端以及第二限位板下端固定在支架上，第二限位板与测速辊通过球轴承连接。

进一步而言，所述从动轮的圆周面加工有磨砂层。

进一步而言，所述主动轮的圆周面经过磨砂工艺处理。

进一步而言，所述从动轮、阻尼转轴、非接触式转速仪、反光片至少设置有两组。

本实用新型有益效果：本实用新型所涉及的一种新型的晶圆转速测量装置，通过设置有支撑座、晶圆、电机、主动轮、阻尼转轴、连杆、非接触式转速仪、从动轮、反光片，将支撑座安装到晶圆清洗设备中，电机接电运转，给非接触式转速仪接电，旋转连杆180度，使非接触式转速仪发射红外线对准反光片，电机带动主动轮旋转，主动轮带动晶圆动作，晶圆在清洗设备中得到清洗，晶圆带动从动轮旋转，从动轮带动反光片旋转，反光片每转一圈将给非接触式转速仪发送一个信号，非接触式转速仪通过测量反光片的转速来测量从动轮的转速，来作为晶圆的转速，通过设置有支架、接触式转速仪、联轴器、测速辊、第一限位板、第二限位板，第一限位板和第二限位板位于晶圆的两侧，晶圆带动测速辊旋转，测速辊带动联轴器以及接触式转速仪的活动端旋，接触式转速仪来测量转速，并作为晶圆的转速，工作人员可对多个测量值求均值，提高测量值的准确度。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。