[实用新型]硅基液晶器件及空间光调制器

权利要求书

1.一种硅基液晶器件，其特征在于，包括基板和设置在所述基板上的硅芯片，硅芯片上设置有液晶层以及与所述硅芯片对盒的透明导电基板，所述透明导电基板在所述基板上的投影包括覆盖所述硅芯片的中心区域，以及围绕所述中心区域的周边区域，在所述周边区域形成有条形导电层，所述条形导电层分别电连接所述透明导电基板与所述基板上的信号连接点。

2.如权利要求1所述的硅基液晶器件，其特征在于，所述周边区域至少包括围绕所述中心区域的三个侧边，在每一个侧边均设置有所述条形导电层。

3.如权利要求1所述的硅基液晶器件，其特征在于，所述条形导电层由多个点状导电银胶组成，或者，所述条形导电层为条形导电银胶层。

4.如权利要求1所述的硅基液晶器件，其特征在于，所述条形导电层包括设置在所述基板上的零欧姆电阻，以及与所述零欧姆电阻连接的导电银胶。

5.如权利要求4所述的硅基液晶器件，其特征在于，在所述周边区域的一个侧边的条形导电层包括沿所述侧边的长度方向依次设置的至少一个所述零欧姆电阻，在所述零欧姆电阻上设置导电银胶，所述导电银胶覆盖所述零欧姆电阻的表面，且当所述零欧姆电阻包括多个时，所述导电银胶填充相邻两个所述零欧姆电阻的间隙。

6.如权利要求1所述的硅基液晶器件，其特征在于，所述基板包括印刷线路板或者柔性电路板。

7.如权利要求1所述的硅基液晶器件，其特征在于，所述透明导电基板包括玻璃基板以及形成在所述玻璃基板上的透明导电层，所述条形导电层与所述透明导电层电连接。

8.如权利要求7所述的硅基液晶器件，其特征在于，在所述玻璃基板上还镀设有增透膜。

9.如权利要求1所述的硅基液晶器件，其特征在于，在所述硅芯片表面镀设有反射膜。

10.一种空间光调制器，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的硅基液晶器件。