[实用新型]硅基液晶器件及空间光调制器有效
申请号: | 202021637941.3 | 申请日: | 2020-08-10 |
公开(公告)号: | CN211857140U | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 陈弈星 | 申请(专利权)人: | 南京芯视元电子有限公司 |
主分类号: | G02F1/1345 | 分类号: | G02F1/1345 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 崔熠 |
地址: | 210000 江苏省南京市江北*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 液晶 器件 空间 调制器 | ||
本实用新型提供一种硅基液晶器件及空间光调制器,光学器件技术领域,能够有效的提高硅基液晶器件的导电良率,进而提高硅基液晶器件及包括硅基液晶器件的光学设备的可靠性。包括基板和设置在基板上的硅芯片,硅芯片上设置有液晶层以及与硅芯片对盒的透明导电基板,透明导电基板在基板上的投影包括覆盖硅芯片的中心区域,以及围绕中心区域的周边区域,在周边区域形成有条形导电层,条形导电层分别电连接透明导电基板与基板上的信号连接点。
技术领域
本实用新型涉及光学器件技术领域,具体而言,涉及一种硅基液晶器件及空间光调制器。
背景技术
硅基液晶(英文名称:Liquid Crystal on Silicon,英文简称:LCoS)是一种基于反射模式且尺寸非常小的矩阵液晶显示装置,由于硅基液晶能够在空间上调制光束波长,在高清投影仪、增强现实及虚拟现实领域均得到了较为广泛应用,而且近年来,硅基液晶器件还作为波长选择开关和光调制设备在电信网络领域得到了应用。
硅基液晶器件一般包括基于互补型金属氧化物半导体(英文名称:ComplementaryMetal Oxide Semiconductor,英文简称:CMOS)技术的硅基板、与硅基板相对的玻璃基板及夹在硅基板和玻璃基板之间液晶层,硅基板上设有数百万个可单独寻址的用于形成像素的反射电极,每个电极都能够在液晶层上施加控制电压来控制液晶旋转,从而使得硅基液晶器件能够根据液晶层中液晶的旋转状态,以相位或振幅空间调制光束的波阵面。
现有技术中的硅基液晶器件在制备过程中,点涂的银胶容易发生导电不良或断裂等问题,从而导致器件的不稳定性较大,加工制备良率低。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种硅基液晶器件及空间光调制器,能够有效的提高硅基液晶器件的导电良率,进而提高硅基液晶器件及包括硅基液晶器件的光学设备的可靠性。
本实用新型的实施例是这样实现的:
本实用新型实施例的一方面,提供一种硅基液晶器件,包括基板和设置在基板上的硅芯片,硅芯片上设置有液晶层以及与硅芯片对盒的透明导电基板,透明导电基板在基板上的投影包括覆盖硅芯片的中心区域,以及围绕中心区域的周边区域,在周边区域形成有条形导电层,条形导电层分别电连接透明导电基板与基板上的信号连接点。
可选地,周边区域至少包括围绕中心区域的三个侧边,在每一个侧边均设置有条形导电层。
可选地,条形导电层由多个点状导电银胶组成,或者,条形导电层为条形导电银胶层。
可选地,条形导电层包括设置在基板上的零欧姆电阻,以及与零欧姆电阻连接的导电银胶。
可选地,在周边区域的一个侧边的条形导电层包括沿侧边的长度方向依次设置的至少一个零欧姆电阻,在零欧姆电阻上设置导电银胶,导电银胶覆盖零欧姆电阻的表面,且当零欧姆电阻包括多个时,导电银胶填充相邻两个零欧姆电阻的间隙。
可选的,基板包括印刷线路板或者柔性电路板。
可选地,透明导电基板包括玻璃基板以及形成在玻璃基板上的透明导电层,条形导电层与透明导电层电连接。
可选地,在玻璃基板上还镀设有增透膜。
可选地,在硅芯片表面镀设有反射膜。
本实用新型实施例的另一方面,提供一种空间光调制器,包括上述任一项的硅基液晶器件。
本实用新型实施例的有益效果包括:
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