[实用新型]外置式气相沉积设备排气装置

权利要求书

1.外置式气相沉积设备排气装置，包括排气装置主体(1)，其特征在于：所述排气装置主体(1)的内端中心设有中空管(2)，所述中空管(2)的侧端位置套接有套轴管(4)，所述套轴管(4)的侧端位置连通有排气部件(3)，所述排气部件(3)包括抽气端口(5)、密封垫块(6)、抽气机(7)和连通管(8)，所述抽气机(7)设在排气部件(3)的内端中心，所述抽气机(7)的侧端位置与连通管(8)相连通，所述连通管(8)的底部位置与抽气端口(5)相连通设置，所述抽气端口(5)的侧部位置处与密封垫块(6)相固定，所述抽气端口(5)包括导管(9)、第一导口盘(10)和第二导口盘(11)，所述导管(9)设在抽气端口(5)的内端中心，所述导管(9)的侧端与第一导口盘(10)相连通，所述第一导口盘(10)的侧端与第二导口盘(11)相连通。

2.根据权利要求1所述的外置式气相沉积设备排气装置，其特征在于：所述抽气端口(5)内端通过导管(9)与连通管(8)相连通设置。

3.根据权利要求1所述的外置式气相沉积设备排气装置，其特征在于：所述排气部件(3)内端的密封垫块(6)与中空管(2)和套轴管(4)相密封设置。

4.根据权利要求1所述的外置式气相沉积设备排气装置，其特征在于：所述抽气端口(5)内端的第一导口盘(10)和第二导口盘(11)的侧部位置均设有槽体结构，且槽体结构与导管(9)相连通。

5.根据权利要求1所述的外置式气相沉积设备排气装置，其特征在于：所述排气部件(3)内端通过抽气机(7)与连通管(8)、抽气端口(5)相连通设置。

6.根据权利要求1所述的外置式气相沉积设备排气装置，其特征在于：所述排气部件(3)内端的抽气端口(5)对称内置连接在中空管(2)的内端中心位置处。