[实用新型]外置式气相沉积设备排气装置

说明书

本实用新型公开了外置式气相沉积设备排气装置，包括排气装置主体，所述排气装置主体的内端中心设有中空管，所述中空管的侧端位置套接有套轴管，所述套轴管的侧端位置连通有排气部件，所述排气部件包括抽气端口、密封垫块、抽气机和连通管，所述抽气机设在排气部件的内端中心，所述抽气机的侧端位置与连通管相连通，所述连通管的底部位置与抽气端口相连通设置，所述抽气端口的侧部位置处与密封垫块相固定，所述抽气端口包括导管、第一导口盘和第二导口盘，所述导管设在抽气端口的内端中心，所述导管的侧端与第一导口盘相连通。本实用新型为外置式气相沉积设备排气装置，通过排气部件的设置，实现内端排气的目的。

技术领域

本实用新型涉及气相沉积设备技术领域，具体为外置式气相沉积设备排气装置。

背景技术

气相沉积设备用在加工生产上，可通过物理以及化学的手法进行沉积作业，帮助进行内端的涂覆作业，方便进行使用，使得加工的产品表面更加的细致，形成型的覆盖膜层，有助于后续的使用，但是目前外置式气相沉积设备存在以下问题，存在不便于进行外置排气的现象，会造成一定的不便，需要进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供外置式气相沉积设备排气装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：外置式气相沉积设备排气装置，包括排气装置主体，所述排气装置主体的内端中心设有中空管，所述中空管的侧端位置套接有套轴管，所述套轴管的侧端位置连通有排气部件，所述排气部件包括抽气端口、密封垫块、抽气机和连通管，所述抽气机设在排气部件的内端中心，所述抽气机的侧端位置与连通管相连通，所述连通管的底部位置与抽气端口相连通设置，所述抽气端口的侧部位置处与密封垫块相固定，所述抽气端口包括导管、第一导口盘和第二导口盘，所述导管设在抽气端口的内端中心，所述导管的侧端与第一导口盘相连通，所述第一导口盘的侧端与第二导口盘相连通。

优选的，所述抽气端口内端通过导管与连通管相连通设置。

优选的，所述排气部件内端的密封垫块与中空管和套轴管相密封设置。

优选的，所述抽气端口内端的第一导口盘和第二导口盘的侧部位置均设有槽体结构，且槽体结构与导管相连通。

优选的，所述排气部件内端通过抽气机与连通管、抽气端口相连通设置。

优选的，所述排气部件内端的抽气端口对称内置连接在中空管的内端中心位置处。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过安装排气部件，排气部件内端通过抽气机的工作，使得内端的气体进行吸附，通过连通管进行传达，作用在抽气端口位置处，使得抽气端口连通的中空管内端的气体排出，且抽气端口通过密封垫块与中空管侧端的套轴管相连接，实现相互的密封设置，防止侧端出现漏气的现象。

2、通过安装抽气端口，抽气端口内端的导管与连通管相连通，通过第一导口盘和第二导口盘进行中空管内部的抽排，第一导口盘和第二导口盘上设置的槽体结构，可实现快速的抽气，帮助进行更广泛的内端气体接触，实现内部抽排的目的，且抽气端口对称设置，可实现双向的抽排作业。

附图说明

图1为本实用新型主体结构示意图；

图2为本实用新型排气部件结构示意图；

图3为本实用新型抽气端口结构示意图。

图中：1-排气装置主体；2-中空管；3-排气部件；4-套轴管；5-抽气端口；6-密封垫块；7-抽气机；8-连通管；9-导管；10-第一导口盘；11-第二导口盘。

具体实施方式