[实用新型]一种半导体玻璃钝化电泳装置

说明书

本实用新型提供一种半导体玻璃钝化电泳装置，包括低温箱、回形板和电泳槽，回形板的中部开口面积与电泳槽的侧壁匹配，回形板的外壁与低温箱的内壁之间通过安装胶条连接；低温箱的底部设有条形卡块，条形卡块的两端延伸至低温箱相对的两侧内壁处，电泳槽的底部设有卡板，电泳槽通过卡板底部的U形槽与条形卡块卡接；低温箱内设有底部冷凝管和两个侧部冷凝管，底部冷凝管呈S形的固定于两个条形卡块之间的低温箱的底部内壁上，每个侧部冷凝管均呈S形的固定于低温箱相邻的两个侧面内壁上，两个侧部冷凝管覆设于低温箱的内壁上，低温箱的侧面设有6个穿孔，底部冷凝管以及侧部冷凝管的两端分别穿过对应的穿孔并设于低温箱的外部。

技术领域

本实用新型涉及半导体制作技术领域，具体涉及一种半导体玻璃钝化电泳装置。

背景技术

随着半导体工业的迅速发展，玻璃钝化工艺的应用越来越普遍，目前涂敷玻璃主要有三种方法：医用手术刀法，电泳法和旋转匀涂法，相比于其他两种方法电泳法玻璃涂层厚度可控并且更均匀；为了调高电泳电压，从而达到提高电泳速度的目的，需要设置一个较低温度的环境，通过热量传递，将电泳过程中产生的焦耳热移除，否则会影响实验的效果。为了降低温度，实际操作时，实验人员会将电泳槽放置于冰水里降温，将电泳槽放置于冰水里降温会存在温度难以控制，温度在短时间内变化较大的情况，难以对电泳槽进行平缓降温，影响实验结果。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种半导体玻璃钝化电泳装置，安装方便，保证低温箱内部的温度始终处于低温状态，维持低温箱内的温度值，实现对电泳槽的平缓降温。

本实用新型提供了如下的技术方案：

一种半导体玻璃钝化电泳装置，包括低温箱、回形板和电泳槽，所述回形板的中部开口面积与所述电泳槽的侧壁匹配，所述回形板的外壁设有安装胶条，所述回形板的外壁与所述低温箱的内壁之间通过所述安装胶条连接；

所述低温箱的底部设有条形卡块，所述条形卡块的两端延伸至所述低温箱相对的两侧内壁处，所述电泳槽的底部设有卡板，所述卡板的底部设有与所述条形卡块匹配的U形槽，所述电泳槽通过所述卡板与所述条形卡块卡接；

所述低温箱内设有底部冷凝管和两个侧部冷凝管，所述底部冷凝管呈S形的固定于两个所述条形卡块之间的所述低温箱的底部内壁上，每个所述侧部冷凝管均呈S形的固定于所述低温箱相邻的两个侧面内壁上，两个所述侧部冷凝管覆设于所述低温箱的内壁上，所述低温箱的侧面设有6个穿孔，所述穿孔的内壁设有保温圈，所述底部冷凝管以及所述侧部冷凝管的两端分别穿过对应的所述穿孔并设于所述低温箱的外部。

优选的，所述安装胶条为双面胶。

优选的，所述条形卡块与所述低温箱的一侧内壁垂直设置。

优选的，所述卡板与所述条形卡块等长，所述U形槽的深度等于所述条形卡块的高度，所述条形卡块完全卡设于所述U形槽内。

优选的，所述回形板的内壁上覆设有保温条。

优选的，所述底部冷凝管与所述侧部冷凝管通过双面胶粘贴于所述低温箱的内壁上。

优选的，所述电泳槽与所述卡板之间的高度值大于所述回形板与所述低温箱底部之间的高度差。

本实用新型的有益效果是：本实用新型在对半导体进行电泳工作时，将与电泳槽匹配的回形板安装于低温箱的内壁上，将电泳槽底部从回形板中部开头处插入低温箱内，并使其底部通过卡板卡设于条形卡块上，安装方便，可以通过更换回形板对不同尺寸的电泳槽进行低温处理，应用范围广；本实用新型通过给底部冷凝管与两个侧部冷凝管输送冷凝液，多个冷凝管设置，提高冷凝液的冷凝效果，保证低温箱内部的温度始终处于低温状态，维持低温箱内的温度值，实现对电泳槽的平缓降温。

附图说明