[实用新型]一种晶界扩散工艺用真空反应系统

说明书

本申请涉及晶界扩散工艺技术领域，尤其是涉及一种晶界扩散工艺用真空反应系统，包括能够对工件进行加热的真空炉，真空炉的炉体包括内部中空的炉壳，真空炉的外侧设置有快冷装置，快冷装置包括一端密封的供水管和回水管，供水管与炉壳内部的空腔、回水管与炉壳内部的空腔均连通有联通管，本申请具有加快烧结设备的冷却速度，实现烧结设备的快速冷却的效果。

技术领域

本申请涉及晶界扩散工艺技术领域，尤其是涉及一种晶界扩散工艺用真空反应系统。

背景技术

目前磁性材料行业的工业生产中，普遍采用在熔炼过程中掺杂重稀土材料一同熔炼的方式来增加矫顽力。为了更加有效的获得磁体较高性能，之后又采用重稀土晶界扩渗的工艺，有效降低重稀土的使用量，使重稀土元素只存在于晶界中，这样更容易获得高性能的磁体。

现有的重稀土扩渗工艺主要包括：通过蒸镀法或涂覆法在工件表面形成一层含有重稀土元素的薄膜，然后通过磁性材料烧结设备对工件进行高温热扩散和回火处理，使重稀土元素渗透至磁性材料中，完成重稀土扩渗。为保证足够的加热温度，磁性材料烧结设备中通常采用电阻加热器进行高温加热，而电阻加热器主要是通过一些紧固组件固定在磁性材料烧结设备内壁上。

上述中的相关技术方案存在以下缺陷：磁性材料在烧结设备中高温加热之后，需要等到烧结设备内部的温度降低到常温，才能够将磁性材料从烧结设备内取出，实用新型人认为，烧结设备冷却速度慢，无法实现快速冷却。

实用新型内容

为了加快烧结设备的冷却速度，实现烧结设备的快速冷却，本申请提供一种晶界扩散工艺用真空反应系统。

本申请提供的一种晶界扩散工艺用真空反应系统采用如下的技术方案：

一种晶界扩散工艺用真空反应系统，包括能够对工件进行加热的真空炉，真空炉的炉体包括内部中空的炉壳，真空炉的外侧设置有快冷装置，快冷装置包括一端密封的供水管和回水管，供水管与炉壳内部的空腔、回水管与炉壳内部的空腔均连通有联通管。

通过采用上述技术方案，使用真空炉对工件进行加热之后需要使真空炉快速冷却时，可以将供水管以及回水管敞开的端头连通到安装有供水泵的水箱上，水箱内部的水溶液能够在供水泵的作用下经过供水管以及联通管进入到炉壳内部的空腔内部，之后炉壳内部的水溶液会经过联通管以及回水管回流至水箱内部，水溶液流动到壳体外侧时，能够带走真空炉大量的热量，这样就能够加快烧结设备（即真空炉）的冷却速度，实现了烧结设备（真空炉）的快速冷却，加快了工件处理工序的处理速度。

优选的，供水管以及回水管上均连通有多个辅助管，辅助管上设置有控制阀，联通管通过所述辅助管与供水管或者回水管内部连通。

通过采用上述技术方案，供水管以及回水管上设置有多个辅助管，人们可以在供水管或者回水管上安装其他的用水管道，这样增加快冷装置的用途。

优选的，快冷装置还包括进气管和出气管，进气管以及出气管靠近炉体的一端贯穿炉体与炉体内部连通，进气管与出气管远离炉体的一端连接到同一个离心风机上，出气管上设置有能够为出气管内部的气体进行降温的换热器。

通过采用上述技术方案，真空炉对工件进行加热时，需要在真空炉内部通入氩气等惰性气体，氩气在真空炉内部温度会上升，开启离心风机之后，离心风机能够将炉体内部的温度较高的氩气从出气管内吸出，将其输送至进气管内部之后再次进入到炉体内部，温度较高的氩气经过出气管时能够与换热器进行换热，气体温度下降，这样进入到炉体内部的氩气便是温度较低的空气，温度较低的氩气能够带走真空炉上大量的热量，实现真空炉的快速冷却。

优选的，换热器为气液换热器，气液换热器中冷媒的入口连通到供水管内部，冷媒的出口连通到回水管内部。

通过采用上述技术方案，对真空炉进行水冷的同时，可以开启离心风机，这样可以同时对真空炉进行风冷和水冷，进一步加快了真空炉的冷却速度。