[实用新型]晶圆切割设备漏水自动检测报警系统

权利要求书

1.一种晶圆切割设备漏水自动检测报警系统,其特征在于，包括:

监测系统，其包含漏液感应条和在漏液感应条上安装的湿度传感器，所述漏液感应条安装在晶圆切割机的接水槽上，所述漏液感应条和湿度传感器可感应晶圆切割机接水槽底部上任一渗漏点的位置，一旦检测到液体，所述湿度传感器发送出漏水信号；

控制系统，其包含电源和与电源电连接的控制器，所述控制器接收所述湿度传感器发送出的漏水信号；

报警系统，控制器接收到漏水信号后控制所述报警系统报警。

2.根据权利要求1所述的晶圆切割设备漏水自动检测报警系统,其特征在于，所述报警系统包括蜂鸣报警器。

3.根据权利要求1所述的晶圆切割设备漏水自动检测报警系统,其特征在于，还包括输入设备，所述输入设备接入湿度控制阈值调整模块，所述湿度控制阈值调整模块与所述控制器电连接，通过所述控制器调整所述湿度传感器的感应强度。

4.根据权利要求1所述的晶圆切割设备漏水自动检测报警系统,其特征在于，所述控制器和电源均安装在控制柜中。