[实用新型]晶圆切割设备漏水自动检测报警系统

说明书

本实用新型公开了一种晶圆切割设备漏水自动检测报警系统,其包括:监测系统，其包含漏液感应条和在漏液感应条上安装的湿度传感器，所述漏液感应条安装在晶圆切割机的接水槽上，所述漏液感应条和湿度传感器可感应晶圆切割机接水槽底部上任一渗漏点的位置，一旦检测到液体，所述湿度传感器发送出漏水信号；控制系统，其包含电源和与电源电连接的控制器，所述控制器接收所述湿度传感器发送出的漏水信号；报警系统，控制器接收到漏水信号后控制所述报警系统报警。本实用新型解决了现有晶圆切割设备漏水，人工难以检测发现，造成电控部分进水短路的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及机械设备领域，具体涉及一种晶圆切割设备漏水自动检测报警系统。

背景技术

目前，半导体行业多采用金属刀具切割，在切割晶圆时需要大量的水冷却刀具和晶圆，市面上大部分晶圆切割设备的电控部分会安装在切割水槽的下一层，切割水槽大部分由金属焊接而成，具有一定的漏水风险，并且漏水不易观察，很容易导致水流入下边造成电路故障，影响使用。

为此开发出一种晶圆切割设备漏水自动检测报警系统具有重要意义。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种晶圆切割设备漏水自动检测报警系统，其解决了现有晶圆切割设备漏水，人工难以检测发现，造成电控部分进水短路的技术问题。

所采用的技术方案为：

一种晶圆切割设备漏水自动检测报警系统,包括:

监测系统，其包含漏液感应条和在漏液感应条上安装的湿度传感器，所述漏液感应条安装在晶圆切割机的接水槽上，所述漏液感应条和湿度传感器可感应晶圆切割机接水槽底部上任一渗漏点的位置，一旦检测到液体，所述湿度传感器发送出漏水信号；

控制系统，其包含电源和与电源电连接的控制器，所述控制器接收所述湿度传感器发送出的漏水信号；

报警系统，控制器接收到漏水信号后控制所述报警系统报警。

进一步地，所述报警系统包括蜂鸣报警器。

进一步地，还包括输入设备，所述输入设备接入湿度控制阈值调整模块，所述湿度控制阈值调整模块与所述控制器电连接，通过所述控制器调整所述湿度传感器的感应强度。

进一步地，所述控制器和电源均安装在控制柜中。

本实用新型的有益效果在于：

监测系统一旦检测到液体，其中湿度传感器发送出漏水信号至控制器，控制器控制报警系统报警，从而无需人工对晶圆切割设备进行巡检，通过监测系统可对晶圆切割设备进行监测，一旦发生漏水现象时，就发出警报，通知工作人员进行维修，节省了大量的人力资源。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为一种晶圆切割设备漏水自动检测报警系统的结构示意图。

图2为一种晶圆切割设备漏水自动检测报警系统的结构框图。

图中，1-晶圆切割机接水槽；2-漏液感应条；3-湿度传感器；4-控制器；5-湿度阈值调整模块；6-报警指示灯；10-监测系统；20-控制系统；30-报警系统；40-输入设备。

具体实施方式