[实用新型]带有冷却装置的真空镀膜设备

权利要求书

1.一种带有冷却装置的真空镀膜设备，包括真空腔体，其特征在于：所述真空腔体内设置有冷却装置，所述冷却装置包括安装架、风冷装置和循环装置，所述风冷装置和循环装置通过安装架连接，所述风冷装置的出风方向朝向循环冷装置的所在方向。

2.根据权利要求1所述的带有冷却装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述风冷装置包括冷风机和安装板，所述安装板连接在安装架上，所述安装板上开设有用于容纳冷风机的空槽，所述冷风机用于向真空腔体内输送冷风。

3.根据权利要求2所述的带有冷却装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述安装板与安装架之间为可拆卸式固定连接。

4.根据权利要求2所述的带有冷却装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述冷风机与空槽之间为可拆卸式固定连接。

5.根据权利要求1所述的带有冷却装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述循环装置包括依次连接并形成循环回路的进液口、冷却管、换热器及泵，所述冷却管内装有冷却液，所述换热器用于降低冷却液的温度。

6.根据权利要求5所述的带有冷却装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述冷却管具体采用蛇形管。

7.根据权利要求6所述的带有冷却装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述冷却管与安装架可拆卸式固定连接。

8.根据权利要求1-7任一项所述的带有冷却装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述真空腔体的两侧均设置有冷却装置。

9.根据权利要求8所述的带有冷却装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述安装架与真空腔体内侧壁可拆卸式固定连接。