[实用新型]带有冷却装置的真空镀膜设备

说明书

本实用新型公开了一种带有冷却装置的真空镀膜设备，包括真空腔体，所述真空腔体内设置有冷却装置，所述冷却装置包括安装架、风冷装置和循环装置，所述风冷装置和循环装置通过安装架连接，所述风冷装置的出风方向朝向循环冷装置的所在方向，对真空腔体内部进行有效的降温，防止镀膜工艺中的加热过程导致真空腔体内部温度过高，防止真空腔体内部的机械结构发生形变，从而延长真空镀膜设备的使用寿命；同时该冷却装置的多个部件均为可拆卸式连接，方便了用户的安装、拆卸和维修操作，也便于对单个部件进行更换，能有效延长冷却装置的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种带有冷却装置的真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等。

当利用真空腔体在基片上对某种材料进行真空镀膜时，往往由于沉积反应或工艺要求，需要对基片进行高温加热，加热过程导致真空腔体内部温度过高，长期受热则会使真空腔体内部的机械结构发生形变，从而使真空腔体的功能失效。

实用新型内容

针对现有技术中的缺陷，本实用新型提供一种带有冷却装置的真空镀膜设备，以对真空腔体内部进行有效的降温，从而延长其使用寿命。

一种带有冷却装置的真空镀膜设备，包括真空腔体，所述真空腔体内设置有冷却装置，所述冷却装置包括安装架、风冷装置和循环装置，所述风冷装置和循环装置通过安装架连接，所述风冷装置的出风方向朝向循环冷装置的所在方向。

优选地，所述风冷装置包括冷风机和安装板，所述安装板连接在安装架上，所述安装板上开设有用于容纳冷风机的空槽，所述冷风机用于向真空腔体内输送冷风。

优选地，所述安装板与安装架之间为可拆卸式固定连接。

优选地，所述冷风机与空槽之间为可拆卸式固定连接。

优选地，所述循环装置包括依次连接并形成循环回路的进液口、冷却管、换热器及泵，所述冷却管内装有冷却液，所述换热器用于降低冷却液的温度。

优选地，所述冷却管具体采用蛇形管。

优选地，所述冷却管与安装架可拆卸式固定连接。

优选地，所述真空腔体的两侧均设置有冷却装置。

优选地，所述安装架与真空腔体内侧壁可拆卸式固定连接。

本实用新型的有益效果体现在：

本实用新型通过设置包括循环装置和风冷装置的冷却装置，对真空腔体内部进行有效的降温，防止镀膜工艺中的加热过程导致真空腔体内部温度过高，防止真空腔体内部的机械结构发生形变，从而延长真空镀膜设备的使用寿命；同时该冷却装置的多个部件均为可拆卸式连接，方便了用户的安装、拆卸和维修操作，也便于对单个部件进行更换，能有效延长冷却装置的使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。

图1为本实用新型实施例提供的带有冷却装置的真空镀膜设备的结构示意图；

图2为图1所示真空镀膜设备的冷却装置的结构示意图；

图3为图2所示冷却装置的风冷装置的结构示意图；

图4为图2所示冷却装置的循环装置的结构示意图；