[实用新型]一种亚微米级运动平台有效
| 申请号： | 202021669836.8 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN212649343U | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 周建红 | 申请（专利权）人： | 深圳市圭华智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H02K41/02 | 分类号： | H02K41/02;H02K11/33;H02K11/22;H02P25/06 |
| 代理公司： | 深圳市徽正知识产权代理有限公司 44405 | 代理人： | 卢杏艳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微米 运动 平台 | ||
1.一种亚微米级运动平台，其特征在于，包括直线电机、气浮导轨、滑块、光栅尺、花岗岩底板(1)、X向底板(11)、Y向底板(12)、Z向支架(13)和驱动控制器；
所述直线电机包括X向直线电机(2)、Y向直线电机(3)和Z向直线电机(4)；
所述气浮导轨包括X向气浮导轨(5)、Y向气浮导轨(6)和Z向气浮导轨(7)；
所述滑块包括X向滑块(8)、Y向滑块(9)和Z向滑块(10)，所述X向滑块(8)、Y向滑块(9)和Z向滑块(10)分别与所述X向气浮导轨(5)、Y向气浮导轨(6)和Z向气浮导轨(7)连接；
所述X向直线电机(2)、Y向直线电机(3)和Z向直线电机(4)分别与所述X向滑块(8)、Y向滑块(9)和Z向滑块连接(10)；
所述光栅尺包括X向光栅尺、Y向光栅尺和Z向光栅尺，所述X向光栅尺、Y向光栅尺和Z向光栅尺分别平行设置于所述X向气浮导轨(5)、Y向气浮导轨(6)和Z向气浮导轨(7)的侧面；
所述花岗岩底板(1)设置于所述平台底部；
所述X向底板(11)通过所述X向滑块(8)与所述花岗岩底板(1)滑动连接；
所述Y向底板(12)通过Y向滑块(9)与所述X向底板(11)连接；
所述Z向支架(13)与所述花岗岩底板(1)垂直连接，所述Z向气浮导轨(7)与所述Z向支架(13)固定连接；
所述驱动控制器与所述直线电机电性连接。
2.根据权利要求1所述的亚微米级运动平台，其特征在于，所述花岗岩底板(1)的长宽为(120-160)mm*(120-160)mm，所述X向底板(11)的长宽为(60-100)mm*(60-100)mm，所述Y向底板(12)的长宽为(40-80)mm*(40-80)mm，所述Z向支架(13)的高为80-160mm。
3.根据权利要求1所述的亚微米级运动平台，其特征在于，所述平台还包括Z向操作臂(14)，所述Z向操作臂(14)与所述Z向滑块(10)连接。
4.根据权利要求1所述的亚微米级运动平台，其特征在于，所述X向气浮导轨(5)平行设置有两个，所述X向底板(11)设置于所述X向气浮导轨(5)之间。
5.根据权利要求1所述的亚微米级运动平台，其特征在于，所述Y向气浮导轨(6)平行设置有两个，所述Y向底板(12)设置于所述Y向气浮导轨(6)之间。
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