[实用新型]一种亚微米级运动平台

说明书

本实用新型涉及电机驱动技术领域，尤其指一种亚微米级运动平台，包括直线电机、气浮导轨、滑块、光栅尺、花岗岩底板、X向底板、Y向底板、Z向支架和驱动控制器；所述直线电机包括X向直线电机、Y向直线电机和Z向直线电机；所述气浮导轨包括X向气浮导轨、Y向气浮导轨和Z向气浮导轨。本实用新型采用直线电机、气浮导轨和滑块的结构设计，极大的提高了运动平台的稳定性性和运动控制精度；将X向底板、Y向底板分别设置在X向气浮导轨和Y向气浮导轨之间，进一步提高了X向底板和Y向底板的运动稳定性；X向直线电机、Y向直线电机和Z向直线电机的设计，保障了在X、Y、Z三个维度的精密运动控制。

技术领域

本实用新型涉及电机驱动技术领域，尤其指一种亚微米级运动平台。

背景技术

随着精密加工技术的发展和推广，机械制造的加工精度和精密控制成为了提高机械产品质量和性能的关键。亚微米级运动平台是一种应用于精密加工制造中的运动控制平台，已广泛应用于汽车制造、计算机、通信网络等高新技术领域。现有的亚微米级运动平台仍然存在结构复杂、运动控制精度差、稳定性差等缺点。

实用新型内容

针对上述现有技术存在的技术问题，本实用新型提供一种稳定性高、运动控制精度高、结构简单的亚微米级运动平台。

为了达成上述技术目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种亚微米级运动平台，包括直线电机、气浮导轨、滑块、光栅尺、花岗岩底板、X向底板、Y向底板、Z向支架和驱动控制器；

所述直线电机包括X向直线电机、Y向直线电机和Z向直线电机；

所述气浮导轨包括X向气浮导轨、Y向气浮导轨和Z向气浮导轨；

所述滑块包括X向滑块、Y向滑块和Z向滑块，所述X向滑块、Y向滑块和Z向滑块分别与所述X向气浮导轨、Y向气浮导轨和Z向气浮导轨连接；

所述X向直线电机、Y向直线电机和Z向直线电机分别与所述X向滑块、 Y向滑块和Z向滑块连接；

所述光栅尺包括X向光栅尺、Y向光栅尺和Z向光栅尺，所述X向光栅尺、Y向光栅尺和Z向光栅尺分别平行设置于所述X向气浮导轨、Y向气浮导轨和 Z向气浮导轨的侧面；

所述花岗岩底板设置于所述平台底部；

所述X向底板通过所述X向滑块与所述花岗岩底板滑动连接；

所述Y向底板通过Y向滑块与所述X向底板连接；

所述Z向支架与所述花岗岩底板垂直连接，所述Z向气浮导轨与所述Z 向支架固定连接；

所述驱动控制器与所述直线电机电性连接。

进一步地，所述花岗岩底板的长宽为(120-160)mm*(120-160)mm，所述X向底板的长宽为(60-100)mm*(60-100)mm，所述Y向底板的长宽为(40-80) mm*(40-80)mm，所述Z向支架的高为80-160mm。

进一步地，所述平台还包括Z向操作臂，所述Z向操作臂与所述Z向滑块连接。

进一步地，所述X向气浮导轨平行设置有两个，所述X向底板设置于所述X向气浮导轨之间。

进一步地，所述Y向气浮导轨平行设置有两个，所述Y向底板设置于所述Y向气浮导轨之间。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

本实用新型采用直线电机、气浮导轨和滑块的结构设计，极大的提高了运动平台的稳定性性和运动控制精度；将X向底板、Y向底板分别设置在X向气浮导轨和Y向气浮导轨之间，进一步提高了X向底板和Y向底板的运动稳定性；X向直线电机、Y向直线电机和Z向直线电机的设计，保障了在X、Y、Z三个维度的精密运动控制。