[实用新型]晶圆预载装置及自动光学检测仪

权利要求书

1.一种晶圆预载装置，用于将晶圆按预设状态送入自动光学检测仪的检测装置中进行检测，其特征在于，包括：

用于承载并固定需要预载的晶圆的旋转载台，以及用于将所述晶圆置入或移出所述旋转载台的转运单元，在所述旋转载台相对其预载的所述晶圆的延伸方向上，所述晶圆预载装置还设置有识别单元、调整单元和清洁单元，其中所述识别单元用于识别所述晶圆的身份标识，所述调整单元用于识别所述晶圆的放置角度，并基于所述放置角度控制所述旋转载台转正所述晶圆，所述清洁单元用于向承载于所述旋转载台上的所述晶圆的第一外表面喷射惰性气体以清除杂质，所述旋转载台还用于在所述清洁单元工作时带动所述晶圆相对于所述清洁单元旋转。

2.根据权利要求1所述的晶圆预载装置，其特征在于，所述晶圆预载装置还包括吸气单元，所述吸气单元用于将所述清洁单元喷出的惰性气体连同被清除的杂质一并带离所述晶圆预载装置。

3.根据权利要求2所述的晶圆预载装置，其特征在于，所述吸气单元对齐或高于所述晶圆的所述第一外表面设置，且所述吸气单元至少设置于所述旋转载台的一侧。

4.根据权利要求3所述的晶圆预载装置，其特征在于，所述吸气单元包括分列所述旋转载台相对两侧的第一吸气单元和第二吸气单元。

5.根据权利要求1-4任一项所述的晶圆预载装置，其特征在于，所述清洁单元包括至少一个朝向所述第一外表面设置的用于喷射惰性气体的喷头，以及连通于所述喷头的气体管路。

6.根据权利要求5所述的晶圆预载装置，其特征在于，所述气体管路与所述旋转载台间隔设置，所述喷头为多个，多个所述喷头沿所述气体管路的延伸方向间隔设置。

7.根据权利要求6所述的晶圆预载装置，其特征在于，多个所述喷头至少分为两组，其中一组所述喷头自所述气体管路的一侧朝向所述第一外表面喷射惰性气体，另一组所述喷头自所述气体管路的另一侧朝向所述第一外表面喷射惰性气体。

8.根据权利要求6所述的晶圆预载装置，其特征在于，所述气体管路相对于所述旋转载台转动设置，所述清洁单元在喷射惰性气体的同时，还相对于所述旋转载台往复摇摆。

9.根据权利要求1-4任一项所述的晶圆预载装置，其特征在于，所述清洁单元还包括气压调节组件，所述气压调节组件用于控制所述清洁单元朝向所述第一外表面喷射的惰性气体的气压，和/或

所述清洁单元还包括气温调节组件，所述气温调节组件用于控制所述清洁单元朝向所述第一外表面喷射的惰性气体的气温。

10.一种自动光学检测仪，其特征在于，包括用于对晶圆进行光学检测的检测装置，以及如权利要求1-9任一项所述的晶圆预载装置。