[实用新型]一种蚀刻液处理装置

权利要求书

1.一种蚀刻液处理装置，其特征在于，包括：扩散渗析箱、回收液储存箱和回收管道；

所述扩散渗析箱内设置有渗析机构，所述渗析机构包括多个离子交换膜、多个第一分隔板和多个第二分隔板，各所述第一分隔板均与所述扩散渗析箱内的底部垂直设置，且各所述第一分隔板排列在同一直线上，各所述第二分隔板均与所述扩散渗析箱内的底部垂直设置，且各所述第二分隔板排列在同一直线上，所述第一分隔板与所述第二分隔板相对设置在所述扩散渗析箱内，各所述离子交换膜的一端均与一所述第一分隔板连接，各所述离子交换膜的另一端均与一所述第二分隔板连接，且各所述离子交换膜之间依次相对设置；

所述第一分隔板、所述第二分隔板和所述离子交换膜将所述扩散渗析箱的内部隔离为渗析室和扩散室，所述扩散室通过所述回收管道与所述回收液储存箱连通。

2.如权利要求1所述的一种蚀刻液处理装置，其特征在于，各所述第一分隔板中的一个与所述扩散渗析箱的侧壁连接。

3.如权利要求2所述的一种蚀刻液处理装置，其特征在于，各所述第二分隔板中的一个与所述扩散渗析箱的侧壁连接。

4.如权利要求1所述的一种蚀刻液处理装置，其特征在于，所述离子交换膜为阴离子交换膜。

5.如权利要求1所述的一种蚀刻液处理装置，其特征在于，所述第一分隔板的数量与所述第二分隔板的数量相同。

6.如权利要求1所述的一种蚀刻液处理装置，其特征在于，所述扩散渗析箱的侧壁上开设有进液口和出液口，所述进液口和所述出液口贯穿所述扩散渗析箱的侧壁。

7.如权利要求6所述的一种蚀刻液处理装置，其特征在于，还包括驱动泵、进液管和出液管，所述进液管的一端通过所述进液口插设于所述渗析室内，所述出液管的一端通过所述出液口插设于所述渗析室内，所述出液管上设置有第一阀门，所述驱动泵设置在所述进液管上，所述驱动泵用于为输送待处理的蚀刻废液至所述渗析室内提供动力。

8.如权利要求1-7任一项中所述的一种蚀刻液处理装置，其特征在于，还包括进水管道，所述进水管道与所述扩散室连通。

9.如权利要求1-7任一项中所述的一种蚀刻液处理装置，其特征在于，所述回收管道上设置有第二阀门。