[实用新型]一种蚀刻液处理装置有效

专利信息
申请号: 202021677760.3 申请日: 2020-08-12
公开(公告)号: CN212770969U 公开(公告)日: 2021-03-23
发明(设计)人: 徐政 申请(专利权)人: 惠州大亚湾海科发实业有限公司
主分类号: C23F1/46 分类号: C23F1/46
代理公司: 北京力量专利代理事务所(特殊普通合伙) 11504 代理人: 姚远方
地址: 516000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 蚀刻 处理 装置
【说明书】:

一种蚀刻液处理装置,包括:扩散渗析箱、回收液储存箱和回收管道;扩散渗析箱通过回收管道与回收液储存箱连通;扩散渗析箱内设置有渗析机构,渗析机构包括多个离子交换膜、多个第一分隔板和多个第二分隔板,第一分隔板与第二分隔板相对设置在扩散渗析箱内,各离子交换膜的一端均与一第一分隔板连接,各离子交换膜的另一端均与一第二分隔板连接,且各离子交换膜之间依次相对设置;通过第一分隔板、第二分隔板和离子交换膜,扩散渗析箱内被划分为渗析室和扩散室,蚀刻废液中的酸根离子发生扩散渗析穿过离子交换膜进入到扩散室内,最后回收至回收液储存箱中,该蚀刻液处理装置,节省空间,便于回收蚀刻废液中的酸性溶液,同时能够节约回收成本。

技术领域

实用新型涉及蚀刻液生产技术领域,特别涉及一种蚀刻液处理装置。

背景技术

目前广泛使用的蚀刻液有酸性氯化铜、碱性氯化铜、氯化铁和过硫酸铵等,蚀刻液通过侵蚀材料的特性来进行雕刻操作,在工业生产中,线路板的制造过程中会采用蚀刻液侵蚀基板上的金属层,在基板上刻画出所需的电路,酸性蚀刻是一种常见的蚀刻方式,在蚀刻过程中,酸性蚀刻液中的铜离子浓度或者亚铜离子浓度增加到一定值时,蚀刻液就不能稳定、快速的蚀刻铜箔,此时的蚀刻液即成为了蚀刻废液。

酸性蚀刻废液中含有大量重金属污染后的强酸溶液,直接排放会造成环境污染,酸性蚀刻液的回收处理方法包括化学中和法和电解再生法,化学中和法即使用碱性溶液对酸性废液进行中和处理;电解再生法通过对酸性废液进行电离,将溶液中的铜离子电解出来,同时废液还原成酸性溶液供蚀刻循环使用。但化学中和法不能回收废液中的酸,电解再生法所需设备复杂,且电解时需要耗费大量的电力,回收成本高。

实用新型内容

基于此,有必要提供一种蚀刻液处理装置。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:一种蚀刻液处理装置,包括:扩散渗析箱、回收液储存箱和回收管道;

所述扩散渗析箱内设置有渗析机构,所述渗析机构包括多个离子交换膜、多个第一分隔板和多个第二分隔板,各所述第一分隔板均与所述扩散渗析箱内的底部垂直设置,且各所述第一分隔板排列在同一直线上,各所述第二分隔板均与所述扩散渗析箱内的底部垂直设置,且各所述第二分隔板排列在同一直线上,所述第一分隔板与所述第二分隔板相对设置在所述扩散渗析箱内,各所述离子交换膜的一端均与一所述第一分隔板连接,各所述离子交换膜的另一端均与一所述第二分隔板连接,且各所述离子交换膜之间依次相对设置;

所述第一分隔板、所述第二分隔板和所述离子交换膜将所述扩散渗析箱的内部隔离为渗析室和扩散室,所述扩散室通过所述回收管道与所述回收液储存箱连通。

在一个实施例中,各所述第一分隔板中的一个与所述扩散渗析箱的侧壁连接。

在一个实施例中,各所述第二分隔板中的一个与所述扩散渗析箱的侧壁连接。

在一个实施例中,所述离子交换膜为阴离子交换膜。

在一个实施例中,所述第一分隔板的数量与所述第二分隔板的数量相同。

在一个实施例中,所述扩散渗析箱的侧壁上开设有进液口和出液口,所述进液口和所述出液口贯穿所述扩散渗析箱的侧壁。

在一个实施例中,还包括驱动泵、进液管和出液管,所述进液管的一端通过所述进液口插设于所述渗析室内,所述出液管的一端通过所述出液口插设于所述渗析室内,所述出液管上设置有第一阀门,所述驱动泵设置在所述进液管上,所述驱动泵用于为输送待处理的蚀刻废液至所述渗析室内提供动力。

在一个实施例中,还包括进水管道,所述进水管道与所述扩散室连通。

在一个实施例中,所述回收管道上设置有第二阀门。

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